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기판; 상기 기판 상에 위치되고, 패턴이 형성된 그래핀; 및 상기 그래핀 상에 위치되고 육방정계 질화붕소로 이루어진 보호층을 포함하고, 상기 패턴은 상기 그래핀에 전원 공급을 위한 제1 패턴 및 상기 그래핀에 열을 집속하기 위한 제2 패턴을 포함하며, 상기 제2 패턴은 코어부와 복수 개의 선들을 포함하고, 상기 복수 개의 선들은 상기 코어부와 이격된 상태로 상기 코어부를 감싸고 있으며, 상기 복수 개의 선들이 서로 연결되어 있는, 마이크로 히터
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제1항에 있어서, 상기 기판은 플렉시블 기판인, 마이크로 히터
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제1항에 있어서, 상기 제1 패턴은 마이크로 히터의 양 측면까지 연장되어 형성되는, 마이크로 히터
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제1항에 있어서, 상기 제1 패턴상에 증착된 전극을 더 포함하고, 상기 전극은 티타늄 및 금을 포함하고, 상기 티타늄은 상기 제1 패턴상에 증착되어 있으며, 상기 금은 상기 티타늄 상에 증착된, 마이크로 히터
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제5항에 있어서, 상기 티타늄의 두께는 10㎚ 이하인, 마이크로 히터
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제1항에 있어서, 상기 보호층은 평탄한 표면(flat surface)을 가질 수 있고, 표면의 RMS(root mean square) 거칠기는 0
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기판을 준비하는 단계; 상기 기판상에 그래핀을 전사하는 단계; 상기 그래핀에 전원 공급을 위한 제1 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 패턴상에 전극을 형성하는 단계; 상기 그래핀에 열을 집속하기 위한 제2 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 전극 및 상기 제2 패턴이 형성된 그래핀상에 육방정계 질화붕소로 이루어진 보호층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제2 패턴은 코어부와 복수 개의 선들을 포함하고, 상기 복수 개의 선들은 상기 코어부와 이격된 상태로 상기 코어부를 감싸고 있으며, 상기 복수 개의 선들이 서로 연결되어 있는, 마이크로 히터의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 제1 패턴상에 전극을 형성하는 단계는, 상기 제1 패턴상에 티타늄을 증착하는 단계; 및 상기 티타늄상에 금을 증착하는 단계를 포함하는, 마이크로 히터의 제조방법
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