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상측에 이송 대상인 기판이 배치되며, 다수의 관통공 및 전환공이 형성되는 상부플레이트; 상기 상부플레이트 상에 상기 기판이 부양되도록 상기 상부플레이트의 관통공 내로 에어를 분사하는 고정노즐; 축방향으로의 회전운동 및 길이방향으로의 이동 중 적어도 하나의 움직임을 가지는 회전축; 상기 회전축에 장착되어 상기 회전축과 동일한 움직임을 가지는 제2조인트와 일단은 상기 전환공에 연결되고 타단은 상기 제2조인트와 연결되며 상기 기판의 이송방향을 조절하도록 상기 회전축의 움직임과 연동하여 에어의 분사방향을 변경하는 제1조인트를 구비하는 동적노즐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치
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제1항에 있어서, 상기 동적노즐은 상기 회전축 상에 복수개가 장착되고,상기 회전축은 상호 이격되게 복수개가 배열되는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치
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제2항에 있어서,상기 상부플레이트로부터 하방으로 이격되게 배치되며, 다수의 관통공이 형성되는 하부플레이트를 더 포함하고,상기 동적노즐은 상기 상부플레이트와 상기 하부플레이트의 사이 공간에 배치되되,상기 고정노즐은 상기 하부플레이트의 하방에 배치되어 에어를 상측으로 분사하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 회전축에 회전력 또는 이동력을 인가하는 동력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부플레이트 상에서 부양된 상태로 이송되는 상기 기판의 방향을 제어하기 위하여 상기 동적노즐을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치
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제5항에 있어서,상기 제어부는 상기 동적노즐로부터 분사되는 에어의 분사속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판의 위치를 검출하기 위하여 상기 관통공 사이에 설치되는 복수개의 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방향 전환이 가능한 기판이송장치
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