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유리 기판을 준비하는 단계; 상기 유리 기판 상에 제1마스크층을 증착하는 단계; 상기 제1마스크층 상에 포토레지스트를 코팅하는 단계; 상기 포토레지스트 상에 일정 패턴이 형성된 제2마스크를 위치시키고, 상기 패턴에 맞게 상기 포토레지스트를 포토리소그래피 공정을 통하여 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 포토레지스트를 마스크로 사용하여 상기 제1마스크층을 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 포토레지스트를 제거하고, 상기 패터닝된 제1마스크층을 마스크로 사용하여 상기 유리 기판의 표면 부분을 습식 식각하여 상기 유리 기판의 표면에 제1요철을 형성하는 단계; 상기 패터닝된 제1마스크층을 마스크로 사용하여 상기 제1요철이 형성된 유리기판을 연무화 식각하여 상기 제1요철의 내면에만 상기 제1요철의 크기보다 작은 제2요철들을 형성하는 단계; 및 상기 제1마스크층를 제거하는 단계를 포함하는, 멀티 스케일의 요철이 형성된 태양 전지 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제2요철들은 서로 크기가 다른 복수의 요철들을 포함하는, 멀티 스케일의 요철이 형성된 태양 전지 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 습식 식각은, 탈이온수 및 불산이 혼합된 용액에 염산, 질산 및 인산으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 첨가용액이 혼합된 습식 식각용액을 이용하는, 멀티 스케일의 요철이 형성된 태양 전지 기판의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 탈이온수와 상기 불산 및 상기 첨가용액이 혼합된 용액은 1 : 1 ~ 10의 비율로 혼합되고, 상기 불산과 상기 첨가용액은 1 : 10 ~ 50의 비율로 혼합되는, 멀티 스케일의 요철이 형성된 태양 전지 기판의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 습식 식각은 1 내지 10 분 동안 수행되는, 멀티 스케일의 요철이 형성된 태양 전지 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 연무화 식각은, 불산, 질산 및 실리콘이 혼합된 연무화 식각용액을 이용하고, 상기 불산 및 질산의 혼합된 용액과 상기 실리콘의 혼합비율은 1 : 1 ~ 50인, 멀티 스케일의 요철이 형성된 태양 전지 기판의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제2요철이 형성된 상기 유리 기판의 표면에 투명 전도막을 증착하는 단계; 및 상기 투명 전도막을 식각하여 상기 투명 전도막의 표면에 요철을 형성시키는 단계를 더 포함하는, 멀티 스케일의 요철이 형성된 태양 전지 기판의 제조방법
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