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실리콘 광증배관 소자(Silicon Photomultiplier)에 있어서,기판;상기 기판 상에 형성되고 기설정된 개수의 마이크로 픽셀을 포함하는 엑티브(Active) 영역; 및상기 기판과 다른 타입의 이온으로 도핑되어 상기 엑티브 영역을 둘러싸도록 형성되되, 상기 엑티브 영역과 각각 기설정된 거리를 두고 형성된 적어도 2 개 이상의 가드링을 포함하는 제 1 가드링 그룹; 및상기 엑티브 영역으로부터 상기 제 1 가드링 그룹 내 최외각에 형성된 가드링보다 먼 거리에 형성되되, 다이싱 쏘우(Dicing Saw) 공정을 위한 라인을 따라 형성된 가드링을 포함하는 제 2 가드링 그룹을 포함하는 실리콘 광증배관 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 엑티브 영역으로부터 가까운 순서대로 제 1 가드링, 제 2 가드링, 및 제 3 가드링인 경우, 상기 엑티브 영역과 상기 제 1 가드링의 제 1 간격은 상기 제 1 가드링과 상기 제 2 가드링의 제 2 간격보다 넓고, 상기 제 2 간격은 상기 제 2 가드링과 상기 제 3 가드링의 제 3 간격보다 넓은, 실리콘 광증배관 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 가드링 중 상기 엑티브 영역과 가장 가까이에 형성된 가드링의 너비가 가장 넓은, 실리콘 광증배관 소자
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제 1 항에 있어서,상기 가드링의 형상은 상기 엑티브 영역의 형상에 따라 달라지는, 실리콘 광증배관 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 가드링 그룹 내 가드링의 너비가 상기 제 1 가드링 그룹 내 최내각에 형성된 가드링을 제외한 나머지 가드링의 너비보다 넓은, 실리콘 광증배관 소자
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