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패턴화된 태양전지용 유리기판 제조방법 및 이를 이용한 박막태양전지

  • 기술번호 : KST2015144164
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패턴화된 태양전지용 유리기판 식각방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴화된 태양전지용 유리기판 식각방법은 불산을 포함하는 식각 용액으로 유리 기판을 식각하는 식각단계; 및 상기 식각단계에서 생성된 부산물을 염산을 포함하는 세척액으로 세척하는 세척단계를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 31/0236 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) H01L 31/0224 (2006.01) H01L 31/0392 (2006.01)
CPC H01L 31/02366(2013.01) H01L 31/02366(2013.01) H01L 31/02366(2013.01) H01L 31/02366(2013.01)
출원번호/일자 1020150010717 (2015.01.22)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1539907-0000 (2015.07.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150806) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.01.22)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이준신 대한민국 서울특별시 서초구
2 박형식 대한민국 경기도 부천시 소사구
3 안시현 대한민국 경기도 수원시 장안구
4 김선보 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2015-0069713-06
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0276071-92
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2015.03.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.01 수리 (Accepted) 9-1-2015-0021004-94
5 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.08 수리 (Accepted) 9-1-2015-0021726-39
6 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0022387-22
7 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027284-90
8 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027642-32
9 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2015.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027955-17
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0328553-97
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2015-0534301-84
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0534300-38
13 등록결정서
Decision to grant
2015.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0480246-17
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
15 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0573645-36
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
불산 및 염산을 포함하는 식각 용액으로 유리 기판을 식각하는 식각단계;상기 유리 기판을 염산을 포함하는 세척액으로 세척하는 세척단계; 및상기 유리기판을 폴리머 입자를 포함하는 용액에 담군 뒤 건조시켜 폴리머 입자 마스크를 생성하는 마스크생성단계를 포함하는,유리기판 식각방법
2 2
제1항에 있어서,상기 유리 기판 상에 부산물이 생성되고,상기 부산물은 SiF6, SiH6, SiHF5 중 어느 하나 이상을 포함하며,상기 유리 기판 상의 부산물이 제거되는,유리기판 식각방법
3 3
제1항에 있어서,상기 유리 기판 표면의 거칠기(Roughness)가 감소하는,유리기판 식각방법
4 4
제1항에 있어서,상기 식각용액은, 상기 불산 100중량부에 대해, 상기 염산이 300중량부 이상인,유리기판 식각방법
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 세척액은 불산(HF) 및 아세트산(CH3COOH) 중 어느 하나 이상을 더 포함하는,유리기판 식각방법
7 7
제1항 내지 제4항 및 제6항 중 어느 하나의 항에 따른 유리기판을 포함하는,박막태양전지
8 8
제7항에 있어서,상기 유리기판 상에 투명전극층을 증착시킨, 박막태양전지
9 9
제8항에 있어서,상기 투명전극층은 산화아연(ZnO), 알루미늄이 도핑된 산화아연(AZO), 갈륨이 도핑된 산화아연(GZO), 붕소가 도핑된 산화아연(BZO), 산화인듐주석(ITO : Indium Tin Oxide), 산화인듐갈륨아연(IGZO) 또는 지르코늄이 포함된 산화인듐주석(ITO:Zr) 중 어느 하나 이상을 포함하는, 박막태양전지
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20160218230 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2016218230 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 성균관대학교산학협력단 에너지기술개발사업(신재생에너지) 고효율 결정질 실리콘 태양전지용 전하선택접촉 기술 개발