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진공상태로 마련되는 검사구역;상기 검사구역 내부에 피측정 입자를 공급하며, 소정의 위치에서 상기 피측정 입자가 집속되도록 하는 입자 공급부;상기 피측정 입자의 이동경로 상에 마련되며, 상기 피측정 입자 측으로 측정광을 조사하여 상기 피측정 입자가 집속되는 집속지점의 위치를 측정하는 위치 측정부;상기 검사구역 내부 소정의 위치에서 집속되며 상기 피측정 입자의 이동경로와 교차되도록 검사광을 조사하며, 상기 집속지점에 검사광이 집속되도록 이동 가능하게 마련되는 광원부;상기 검사구역을 통과한 검사광을 이용하여 상기 피측정 입자의 정보를 측정하는 측정부;를 포함하는 입자 측정장치
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제1항에 있어서,상기 위치 측정부는,상기 피측정 입자 측으로 측정광을 조사하는 측정광 조사부; 상기 측정광을 수광하여 상기 집속지점의 위치를 측정하는 측정광 수광부;를 포함하는 입자 측정장치
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제2항에 있어서,상기 측정광 조사부는 고정된 위치 상에서 소정의 조사면적을 갖도록 측정광을 조사하며,상기 측정광 수광부는 상기 피측정 입자에 의하여 차단되는 측정광으로부터 상기 집속 지점의 위치를 측정하는 입자 측정 장치
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제2항에 있어서,상기 측정광 조사부는 복수 개가 마련되어 상호 교차되도록 각각 측정광을 조사하며,상기 측정광 수광부는 상기 측정광 수광부에 대응되는 개수로 마련되어 각각 상기 측정광을 수광하며, 상기 피측정 입자에 의하여 차단되는 측정광으로부터 상기 집속 지점의 위치를 측정하는 입자 측정 장치
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 위치 측정부로부터 제공받은 상기 집속지점의 위치 정보에 따라 상기 광원부의 위치를 이동시키는 제어부;를 더 포함하는 입자 측정장치
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제5항에 있어서,상기 광원부는,기본광을 발생시키는 광발생부; 상기 기본광을 직선광으로 변환하는 광변환부; 상기 직선광을 집속시키는 광집속부;를 포함하는 입자 측정장치
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제6항에 있어서,상기 측정부는,상기 검사구역을 통과한 검사광을 수광하는 수광부; 상기 수광된 검사광의 산란 및 흡수에 의한 광소멸량으로부터 상기 피측정 입자의 정보를 측정하는 디텍터;를 포함하는 입자 측정장치
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제6항에 있어서,상기 입자 공급부는,중공형상으로 마련되는 몸체부; 상기 피측정 입자가 집속되는 집속공이 형성되며, 상기 몸체부 내부에 설치되어 상기 몸체부 내부공간을 구획하는 집속부;를 포함하는 입자 측정장치
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제8항에 있어서,상기 집속부는 복수 개가 마련되며, 상기 피측정 입자의 특성에 따라 각 집속부 간의 간격 및 상기 집속공의 크기가 결정되는 입자 측정장치
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