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하부 전극층; 상기 하부 전극층 상에 배치되고, 초발수 특성의 상부면을 갖는 유전체층; 상기 유전체층의 상기 상부면과 이격된 상태로 서로 마주하는 초발수 표면을 구비하는 보호층; 상기 보호층 상에 배치된 상부 전극층; 상기 하부 전극층과 상기 상부 전극층을 서로 전기적으로 연결시켜주는 배선부; 및상기 유전체층 및 상기 보호층 중 하나 이상을 진동시키는 진동부를 포함하고, 상기 진동부의 진동에 의해 액체방울이 상기 유전체층의 상기 상부면과 상기 보호층의 초발수 표면 사이에서 왕복 이동하고 상기 유전체층의 상기 상부면과 상기 초발수 표면과 각각 마찰하는, 액체방울을 이용한 발전소자
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제1항에 있어서, 물방울에 대한 상기 유전체층의 상기 상부면 및 상기 초발수 표면의 접촉각은 각각 130°이상인, 액체방울을 이용한 발전소자
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제1항에 있어서, 상기 유전체층 및 상기 초발수 표면은 다공성의 마이크로 또는 나노 구조를 갖는, 액체방울을 이용한 발전소자
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제1항에 있어서, 상기 하부 전극층 및 상기 상부 전극층은 각각 서로 독립적으로 알루미늄 또는 구리를 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자
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제1항에 있어서, 상기 보호층은, 포화지방산으로 표면처리된 산화아연막을 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자
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제7항에 있어서, 상기 포화지방산은, 스테아르산(stearic acid)을 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자
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제1항에 있어서, 상기 보호층은,초발수 특성을 가지는 산화티타늄층을 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자
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제9항에 있어서, 상기 산화티타늄층의 표면은 퍼플루오로옥틸트리클로로실란(perfluorooctyltrichlorosilane, PTFE)으로 코팅된, 액체방울을 이용한 발전소자
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제1항에 있어서, 상기 유전체층은, 불소계 수지를 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자
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제11항에 있어서, 상기 불소계 수지는, 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene, PTFE)을 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자
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제1항에 있어서, 상기 하부 전극층을 지지하는 제1 기판; 및 상기 상부 전극층을 지지하는 제2 기판을 더 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자
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제13항에 있어서, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판은,각각 유리(glass)를 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자
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제13항에 있어서, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판과 각각 결합하고, 상기 제2 기판을 지지하여 상기 유전체층의 상기 상부면과 상기 보호층의 초발수 표면을 서로 이격시키는 이격부를 더 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자
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초발수 특성을 가지는 상부면을 구비하는 유전체층을 하부 전극층 상에 형성하는 단계; 상부 전극층의 하부면 상에 초발수 표면을 구비하는 보호층을 형성하는 단계; 상기 유전체층의 초발수 특성을 가지는 상부면과 상기 보호층의 초발수 표면을 서로 이격된 상태로 마주하도록 배치하는 단계; 및 상기 하부 전극층과 상기 상부 전극층을 서로 전기적으로 연결시켜주는 단계를 포함하고, 상기 유전체층 및 상기 보호층 중 하나 이상이 진동되는 경우에 액체방울은 상기 유전체층의 상기 상부면과 상기 보호층의 초발수 표면 사이에서 왕복 이동하고 상기 유전체층의 상기 상부면과 상기 초발수 표면과 각각 마찰하는, 액체방울을 이용한 발전소자 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 유전체층을 형성하는 단계는, 비드(bead) 형상을 가지는 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene, PTFE)을 톨루엔(toluene)에 초음파를 이용하여 분산시켜 분산용액을 제조하는 단계; 및 상기 분산용액을 상기 하부 전극층 상에 도포하고 건조하는 단계를 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 보호층을 형성하는 단계는, 상부 전극층의 하부면 상에 산화아연층을 성장시키는 단계; 및상기 산화아연층의 표면을 스테아르산(stearic acid)으로 처리하는 단계를 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 보호층을 형성하는 단계는, 상부 전극층의 하부면 상에 산화티타늄층을 배치하는 단계를 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자 제조방법
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제19항에 있어서, 상기 산화티타늄층의 표면을 퍼플루오로옥틸트리클로로실란(perfluorooctyltrichlorosilane, PTFE)으로 코팅하는 단계를 더 포함하는, 액체방울을 이용한 발전소자 제조방법
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