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상부공간 및 액체가 채워진 하부공간이 내부에 형성되고, 상기 상부공간과 하부공간을 분할하는 절연부를 구비하는 챔버;상기 절연부를 관통하도록 배치되고, 상기 상부공간으로부터 상기 하부공간으로 금속 와이어가 이동하는 중공 통로를 제공하는 금속 와이어 공급부; 초음파를 발생시켜 상기 금속 와이어를 진동시키는 초음파 발생부; 상기 하부공간의 액체 내부에 배치되고, 상기 금속 와이어에 펄스전원을 인가하여 상기 금속 와이어가 전기폭발되도록 하는 전극; 상기 하부공간의 액체 내부에 배치되어 상기 하부공간 내에서의 액중 전기 폭발에 의하여 상기 금속 와이어가 증기화된 경우에 상기 액체를 끓는점 미만의 온도로 가열하시키는 가열부를 구비하는 냉각속도 조절부를 포함하는, 금속 분말 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 초음파 발생부는 상기 금속 와이어 공급부의 일 측에 배치되어 있고, 상기 금속 와이어 공급부를 통과하는 금속 와이어를 진동시키는 것을 특징으로 하는, 금속 분말 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 초음파 발생부는 초음파의 주파수를 조절할 수 있는 초음파 조절부; 및 발생하는 초음파의 주파수를 표시하는 초음파 표시부를 더 포함하는, 금속 분말 제조장치
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제3항에 있어서, 상기 초음파 발생부가 발생하는 초음파의 주파수는 20 내지 100㎑인 것을 특징으로 하는, 금속 분말 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 냉각속도 조절부는, 상기 가열부가 공급하는 열의 온도를 조절할 수 있는 온도 조절부; 상기 가열부의 온도를 측정하는 온도 측정부; 및 측정된 온도를 표시하는 온도 표시부를 더 포함하는, 금속 분말 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 초음파 발생부가 상기 금속 와이어 공급부를 통과하는 금속 와이어를 진동시킴으로써 상기 액체에 잠기는 금속 와이어를 진동시키는 것을 특징으로 하는, 금속 분말 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 액체는 아이소프로필 알콜(IPA), 에탄올, 메탄올, 과산화수소 및 탈이온수로 구성된 군에서 선택된 하나 이상인, 금속 분말 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 가열부가 공급하는 열의 온도는 상기 액체의 끓는점보다 10 내지 20℃ 낮은 온도로 조절되는 것을 특징으로 하는, 금속 분말 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 가열부는 상기 전극 하부에 배치되는 것을 특징으로 하는, 금속 분말 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 전극이 펄스전원을 인가하도록 하는 스위치부를 더 포함하는, 금속 분말 제조장치
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