1 |
1
기판 상에 형성되고 적어도 한 종류의 금속원자를 포함하는 도전층;상기 도전층 상에 형성되고, 상기 금속원자의 확산을 방지하는 그라핀층; 및상기 그라핀층 상에 형성되고, 상기 그라핀층을 통해 전하를 전달하거나, 전달받기 위한 기능층을 포함하는 전자소자
|
2 |
2
제1항에 있어서, 상기 도전층은 금속물 또는 전도성 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자소자
|
3 |
3
제2항에 있어서, 상기 기능층은 적어도 한 종류의 비금속원자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자소자
|
4 |
4
제2항에 있어서, 상기 그라핀층은 상기 금속원자와 상기 비금속원자의 결합에 따른 금속-비금속 화합물의 형성을 저지하는 것을 특징으로 하는 전자소자
|
5 |
5
제1항에 있어서, 상기 그라핀층은 플라즈마 처리에 의해 표면에 화학적 반응종이 결합된 것을 특징으로 하는 전자소자
|
6 |
6
기판 상에 형성된 하부전극;상기 하부전극 상에 형성되고, 확산방지막으로 기능하는 그라핀층;상기 그라핀층 상부에 형성되는 광발전층; 및상기 광발전층 상부에 형성되는 상부전극을 포함하는 태양전지
|
7 |
7
제6항에 있어서, 상기 하부전극은 정공이 집적되는 양극으로 작용하고, 적어도 한 종류의 금속원자를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지
|
8 |
8
제7항에 있어서, 상기 광발전층은 박막형이며, 적어도 한 종류의 비금속원자를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지
|
9 |
9
제8항에 있어서, 상기 그라핀층은 상기 하부전극의 금속원자가 상기 광발전층으로 확산되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 태양전지
|
10 |
10
제9항에 있어서, 상기 그라핀층은 상기 광발전층에서 형성된 전하가 표면 상에 확산되도록 하는 것을 특징으로 하는 태양전지
|
11 |
11
제6항에 있어서, 상기 그라핀층은 표면에 화학적 반응종이 결합되도록 플라즈마 처리된 것을 특징으로 하는 태양전지
|
12 |
12
제6항에 있어서, 상기 하부전극은 Mo, Cu, Ni, Fe, Al, Co, Pt, Au, Cr, Ti 또는 전도성 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지
|
13 |
13
기판 상에 하부전극을 형성하는 단계;상기 하부전극 상에 상기 하부전극의 금속원자의 확산을 방지하는 그라핀층을 형성하는 단계;상기 그라핀층 상에 광을 흡수하는 광발전층을 형성하는 단계; 및상기 광발전층 상에 상부전극을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조방법
|
14 |
14
제13항에 있어서, 상기 그라핀층을 형성하는 단계는,성장용 기판 상에 상기 그라핀층 및 폴리머 지지층을 형성하는 단계;상기 그라핀층 및 상기 폴리머 지지층을 상기 하부전극 상에 부착하는 단계; 및상기 폴리머 지지층을 제거하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조방법
|
15 |
15
제14항에 있어서, 상기 그라핀층의 형성은 H2 및 CH4 분위기에서 수행되고, 상기 H2 가스 및 CH4 가스의 몰 분율은 1 : 1 내지 1 : 2 인 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
|
16 |
16
제14항에 있어서, 상기 그라핀층 및 폴리머 지지층을 형성하는 단계 이후에, 상기 성장용 기판을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
|
17 |
17
제14항에 있어서, 상기 폴리머 지지층을 제거하는 단계 이후에, 상기 그라핀층에 대한 플라즈마 처리를 통해 상기 그라핀층 표면에 화학적 반응종을 도입하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
|
18 |
18
제14항에 있어서, 상기 성장용 기판은 Cu foil, Al foil 또는 Ni 필름인 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
|