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공진 스캐너에 장착되는 미러의 진동각 측정 장치에 있어서, 상기 미러에 빛을 조사하는 발광부와; 상기 미러에 의해 반사되는 빛을 수광하여 상기 미러의 진동각에 따른 신호를 출력하는 수광부와; 상기 수광부의 출력 신호로부터 상기 미러의 진동각을 산출하는 진동각 산출부를 포함하는 공진 스캐너용 미러 진동각 측정 장치
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제1항에서, 상기 미러의 진동을 제어하는 콘트롤러부를 더 포함하는 공진 스캐너용 미러 진동각 측정 장치
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제2항에서, 상기 콘트롤러부는 상기 미러의 진동 주파수를 조정하기 위한 진동 주파수 제어부와; 상기 공진 주파수에 인가되는 전류의 펄스폭을 변조하여 상기 미러의 진동각을 조정하기 위한 펄스폭 변조부를 포함하는 공진 스캐너용 미러 진동각 측정 장치
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제1항에서, 상기 수광부는 입사되는 빛의 수광 위치에 따라 출력 전압의 크기가 변하는 포토 센서티브 디바이스인 공진 스캐너용 미러 진동각 측정 장치
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제1항에서, 상기 진동각 산출부는 상기 수광부의 출력 신호를 증폭하는 신호 증폭부와; 상기 신호 증폭부의 출력 신호를 디지털 신호로 변환하는 아날로그/디지털 변환부와; 상기 아날로그/디지털 변환부의 출력값으로부터 미러의 진동각을 계산하는 진동각 계산부를 포함하는 공진 스캐너용 미러 진동각 측정 장치
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제1항에서, 상기 발광부의 거리를 1축 직선 방향으로 조절하도록 하는 발광부 거리 조절수단을 더 포함하는 공진 스캐너용 미러 진동각 측정 장치
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제6항에서, 상기 발광부 거리 조절 수단은 상기 발광부의 거리를 1축 직선 방향으로 미세하게 조절하도록 하는 마이크로 미터를 포함하는 공진 스캐너용 미러 진동각 측정 장치
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제1항에서, 상기 수광부의 위치를 상호 직교하는 2축 직선 방향으로 조절하도록 하는 수광부 위치 조절 수단을 더 포함하는 공진 스캐너용 미러 진동각 측정 장치
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제8항에서, 상기 수광부 위치 조절 수단은 상기 수광부의 거리를 제1 방향으로 조절하는 제1 방향 위치 조절 수단과; 상기 수광부의 거리를 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 조절하는 제2 방향 위치 조절 수단을 포함하는 공진 스캐너용 미러 진동각 측정 장치
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제9항에서, 상기 제1 및 제2 방향 위치 조절 수단은 수광부의 거리를 미세하게 조절하도록 하는 마이크로 미터로 이루어진 공진 스캐너용 미러 진동각 측정 장치
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