기판 상에 X선에 반응할 수 있는 물질막을 형성하는 단계;

상기 물질막에 페룰의 반대 형상이 흡수체로 패터닝되어 있는 X선 마스크를 이용하여 노광하는 단계;

상기 노광된 물질막을 현상하여 상기 기판을 노출시키면서 그 내부에 페룰의 반대 형상을 갖는 물질막을 형성하는 단계;

상기 노출된 기판 상에 도금 구조물을 채우는 단계;

상기 도금 구조물을 연마하여 평탄화시키는 단계;

상기 물질막을 제거한 후 상기 도금 구조물을 분리하여 페룰의 하판을 얻는 단계;

상기 선행 단계들를 반복하여 페룰의 상판을 얻는 단계; 및

상기 하판과 상판을 결합하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다심 광커넥터용 페룰의 제조방법

제1항에 있어서, 상기 기판은 도금 베이스가 형성되어 있는 실리콘 기판, 도금 베이스가 형성되어 있는 유리 기판, 도금 베이스가 형성되어 있는 알루미나 기판 및 금속 기판중에서 선택된 하나로 이루어지는 것을 특징으로 다심 광커넥터용 페룰의 제조방법

제1항에 있어서, 상기 물질막은 PMMA 또는 수지막으로 형성되는 것을 특징으로 다심 광커넥터용 페룰의 제조방법

기판 상에 X선에 반응할 수 있는 물질막을 형성하는 단계;

상기 물질막에 페룰의 형상이 흡수체로 패터닝된 X선 마스크를 이용하여 노광하는 단계;

상기 노광된 물질막을 현상하여 상기 기판의 일부 표면이 노출되도록 상기 페룰 형태를 구현하는 단계;

상기 노출된 기판 상에 도금하여 도금 구조물을 형성하는 단계;

상기 도금 구조물을 연마하여 평탄화시키는 단계;

상기 물질막을 제거하는 단계;

상기 기판을 절단하여 도금 구조물 및 기판으로 이루어진 리가 금형을 얻거나, 상기 도금 구조물을 상기 기판과 분리시켜 리가 금형을 얻는 단계;

상기 리가 금형과 조립하여 사출할 수 있는 기계가공 금형을 준비하는 단계;