1
무선통신 시스템에서 사용하는 고주파(RF) 스위치의 제조 방법에 있어서, 세라믹 기판의 상부면과 하부면상에 각기 접지로서 사용되는 상부 도체층과 하부 도체층을 적층하는 단계; 상기 상부 도체층상에 박막의 제 1 유전체 층을 적층하는 단계; 상기 제 1 유전체 층상에 다수개의 굴곡형상의 도체 패턴을 형성하는 단계; 상기 굴곡형상 도체 패턴이 형성된 제 1 유전체 층상에 박막의 제 2 유전체 층을 적층하는 단계; 상기 제 2 유전체 층상의 제1 및 제2의 마주하는 방향으로 부분적으로 다수개의 금속전극을 형성하는 단계; 상기 제 2 유전체 층상의 영역에 상기 제2의 마주하는 방향으로 형성된 금속전극으로부터 연장하는 하나 이상의 스터브를 갖는 도체 패턴을 형성하는 단계; 상기 스터브를 갖는 금속전극과 상기 제1 방향의 금속전극상에 캐패시터 소자와 상기 제 2 방향의 금속전극상에 다이오드 소자를 고정 배치하는 단계; 상기 다이오드와 캐패시터가 배치된 적층체의 상기 제1 방향에 대응하는 측벽의 일부영역에 상기 적층체의 적층방향을 따라 수직으로 제 1 도체 영역을 각기 형성하여 상기 제1 방향의 금속전극을 상기 상부 및 하부 도체층과 전기적으로 연결하는 단계; 상기 적층체의 상기 제2 방향에 대응하는 측벽의 일부영역에서 상기 제1 유전체 층을 제외한 채로 상기 상부 도체층, 세라믹 기판 및 하부 도체층과 상기 제 2 유전체 층에 걸쳐 상기 적층체의 적층방향을 따라 수직으로 상부 및 하부측으로 분리되는 다수개의 제 2 도체 영역을 형성하여 상기 굴곡형상의 도체 패턴이 상기 상부측의 제 2 도체 영역과 전기적으로 연결되도록 하는 단계; 상기 제2 방향의 금속 전극을 전원과 연결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 스위치 제조 방법
|