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X-선 사진 식각 기술을 이용하여 비구면 렌즈를 제조하는 방법에서, 기판 상에 감광막이 형성되어 있는 노광 시편 위에 비구면 렌즈 제조를 위한 노광 마스크를 위치시키고 상기 노광 시편의 회전축과 노광 마스크의 중심축을 정렬시키는 단계; 상기 노광 마스크는 고정시키고 상기 노광 시편은 회전시키면서 상기 노광 마스크 위로 광선을 조사하여 감광막을 노광시키는 단계; 상기 감광막을 현상하여 비구면 렌즈를 형성하는 단계 를 포함하는 비구면 렌즈의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 노광 시편과 노광 마스크를 정렬시키는 단계에서, 상기 노광 마스크를 X축 방향으로 왕복 이동시켜 상기 노광 시편의 회전축과 상기 노광 마스크의 중심축을 일치시키고, 상기 노광 마스크를 Y 방향으로 왕복 이동시켜 상기 노광 마스크에 의하여 노광되는 감광막의 두께를 조절하는 비구면 렌즈의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 노광 마스크는 X-선을 투과시키는 마스크 기판; 상기 마스크 기판 상에 고정 설치되어 있으며 공간부를 가지는 고정 부재; 상기 공간부에 착탈 가능하도록 형성된 삽입부를 가지며, 제조하고자 하는 비구면 렌즈 형상으로 이루어지고, X-선을 흡수하는 물질로 이루어지는 흡수 부재 를 포함하는 비구면 렌즈의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 노광 단계에서 상기 노광 마스크의 흡수 부재에 직교하는 방향으로 상기 노광 시편을 위치시킨 다음에, 상기 노광 시편을 회전축을 중심으로 360°회전시키면서 노광하는 비구면 렌즈의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 흡수 부재의 삽입부에 돌출부가 형성되어 있고, 상기 돌출부에 대응하여 상기 고정 부재의 공간부에 장착홈이 형성되어 있는 노광 마스크를 이용하여 노광하는 비구면 렌즈의 제조 방법
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제3항에 있어서, 상기 흡수 부재의 삽입부의 끝단에 제1 돌출부가 형성되어 있고, 상기 고정 부재의 공간부의 상기 제1 돌출부에 대응하는 위치에 제1 장착홈이 형성되어 있으며, 상기 흡수 부재의 삽입부의 측면에 제2 장착홈이 형성되어 있고, 상기 고정 부재의 공간부의 상기 제2 장착홈에 대응하는 위치에 제2 돌출부가 형성되어 있는 노광 마스크를 이용하여 노광하는 비구면 렌즈의 제조 방법
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X-선 사진 식각 기술을 이용하여 비구면 렌즈를 제조하는 방법에서, 기판 상의 감광막 위에 비구면 렌즈 제조를 위한 노광 마스크를 위치시키고 상기 기판의 회전축과 노광 마스크의 중심축을 정렬시키는 단계; 상기 노광 마스크는 고정시키고 상기 기판은 회전시키면서 상기 노광 마스크 위로 광선을 조사하여 감광막을 노광시키는 단계; 상기 감광막을 현상하여 비구면 렌즈 형상을 가지는 감광막 구조물을 제조하는 단계; 상기 감광막 구조물 위에 도금 기저층(plating base)을 형성하는 단계; 상기 도금 기저층 위에 전기 도금 공정을 수행하여 도금층을 형성하는 단계; 및 상기 도금층을 상기 감광막 구조물로부터 분리하여 비구면 렌즈를 사출 성형하기 위한 금형틀에 결합하여 사출 금형을 제조하는 단계 를 포함하는 비구면 렌즈 사출용 금형 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 노광 시편과 노광 마스크를 정렬시키는 단계에서, 상기 노광 마스크를 X축 방향으로 왕복 이동시켜 상기 노광 시편의 회전축과 상기 노광 마스크의 중심축을 일치시키고, 상기 노광 마스크를 Y 방향으로 왕복 이동시켜 상기 노광 마스크에 의하여 노광되는 감광막의 두께를 조절하는 비구면 렌즈 사출용 금형 제조 방법
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