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초음파 트랜스듀서 어레이 형상 구조물 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015144951
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 초음파 트랜스듀서 어레이 형상 구조물 제작 방법은 초음파 트랜스듀서 어레이 패턴이 현상된 PMMA판을 이용하여 금속 금형을 만든다. 그런 후에, 사출 방식을 이용하여 플라스틱 금형을 대량으로 제조하여 초음파 트랜스듀서 어레이 형상 구조물을 만들거나 이 금속 금형을 PZT 판에 그대로 찍어 이 PZT 판을 소결함으로써 초음파 트랜스듀서 어레이 형상 구조물을 만든다. 이렇게 하여 플라스틱 금형을 대량으로 제조할 수 있을 뿐만 아니라 금속 금형을 그대로 PZT 판에 압착시킴으로써 제작 공정을 줄일 수 있다.LIGA, 초음파 트랜스듀서, PZT, PMMA
Int. CL H01L 41/22 (2013.01)
CPC H01L 41/331(2013.01) H01L 41/331(2013.01) H01L 41/331(2013.01) H01L 41/331(2013.01) H01L 41/331(2013.01)
출원번호/일자 1019990043075 (1999.10.06)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0338365-0000 (2002.05.15)
공개번호/일자 10-2001-0036173 (2001.05.07) 문서열기
공고번호/일자 (20020530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.10.06)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조진우 대한민국 경기도성남시분당구
2 홍성제 대한민국 경기도과천시
3 박준식 대한민국 경기도군포시
4 박순섭 대한민국 경기도평택시송탄지역
5 신상모 대한민국 경기도용인시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송만호 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)
2 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 평택시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1999.10.06 수리 (Accepted) 1-1-1999-0125040-13
2 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 1999.11.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-0149306-14
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2001.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0199220-11
4 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2001.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2001-0247132-15
5 의견서
Written Opinion		 2001.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2001-0276513-87
6 등록결정서
Decision to grant		 2002.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0140786-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

도전성 기판 위에 감광층을 형성하고, 마스크를 통하여 상기 감광층 위에 광원을 조사하여 상기 감광층을 노광시키는 단계;

상기 노광된 감광층을 상기 도전성 기판의 상면이 드러날 때까지 현상하여 감광층 구조물을 형성하는 단계;

상기 감광층 구조물에 금속을 도금시켜 금속 금형을 형성하는 단계;

PZT판 위에 상기 금속 금형을 압착하여 초음파 트랜스듀서 어레이 패턴을 상기 PZT판 상에 형성하는 단계; 및

상기 초음파 트랜스듀서 어레이 패턴이 형성된 상기 PZT판을 일정 온도에서 소결하는 PZT판 소결 단계를 포함하는 초음파 트랜스듀서 어레이 형상 구조물 제작 방법

2 2

제1항에 있어서,

상기 감광층을 노광시키는 단계에서 사용하는 광원은 X선 또는 자외선을 사용하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서 어레이 형상 구조물 제작 방법

3 3

제1항에 있어서,

상기 감광층으로 PMMA판을 이용하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서 어레이 형상 구조물 제작 방법

4 4

제1항에 있어서,

상기 현상된 부분에 감광층 찌꺼기를 O2 플라즈마를 이용하여 제거하는 전처리 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서 어레이 형상 구조물 제작 방법

5 5

도전성 기판 위에 감광층을 형성한 후, 마스크를 통하여 상기 감광층에 광원을 조사하여 감광층을 노광시키는 단계;

상기 노광된 감광층을 상기 도전성 기판의 상면이 드러나게 상기 감광층을 현상하여 감광층 구조물을 형성하는 단계;

상기 감광층 구조물에 금속을 도금시켜 금속 금형을 형성하는 단계;

상기 금속 금형을 이용하여 플라스틱 금형을 사출하는 단계;

상기 플라스틱 금형을 PZT 판에 압착하여 초음파 트랜스듀서 어레이 패턴을 형성하는 PZT판 압착 단계; 및

상기 플라스틱 금형이 압착되어 트랜스듀서 어레이 패턴이 형성된 PZT판을 일정 온도에서 소결하는 단계를 포함하는 초음파 트랜스듀서 어레이 형상 구조물 제작 방법

6 6

제5항에 있어서,

상기 PZT판 압착 단계에서 압착 방법은 상기 PZT 판을 일정 온도로 가열하여 압착하는 라미네이터법이나 수압을 이용하여 압착하는 CIP법을 사용하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서 어레이 형상 구조물 제작 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.