요약 |
본 발명은 MCM-C 모듈 부품의 제조 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 FET, 트랜지스터, 다이오드 등의 능동 소자와 수동 소자를 활용하여 MCM-C 모듈 부품을 제조함으로써, MCM-C의 공정수 단축에 의한 원가 절감 및 제품의 고밀도화를 제공할 수 있도록 한, MCM-C 모듈부품의 고주파용 수동소자 내장기판에 관한 것이다.종래에는 상부 면의 패드와 캐패시터(콘덴서)가 기생 캐패시턴스 값을 형성하게 되어 회로 내에 정확한 용량 값을 구현하는 것이 불가능하고, 이러한 구조는 통신기에서 사용되는 GHz 대역의 고주파수에서 원치 않는 잡음의 원인이 되는 문제점이 있었다.상기한 문제점을 해소하기 위하여 본 발명은, 하부에는 저항 및 캐패시터 등의 수동 소자가 내장된 세라믹 기판을 적층시키고, 상부에는 트랜지스터 등의 능동 소자 부품을 결합시켜 제작하는 MCM-C 모듈부품에 있어서,상기 능동 소자 부품의 신호 입출력을 위하여 세라믹 기판의 상부 면에 형성되는 패드를 수동 소자인 캐패시터와 공통으로 사용하는 구조로 제작함을 특징으로 한다.따라서, 본 발명에 의하면 MCM-C 모듈 부품을 제조하는데 있어서 능동 소자와 캐패시터를 동시에 구현함으로써 공간적인 감소가 가능하며, 모듈의 고밀도화 및 소형화가 가능하고, 내부 소자를 제조하는데 소요되는 층(layer)수를 감소시킬 수 있어 원재료비 및 공정의 비용의 감소가 가능하며, 이로 인하여 제품의 가격 저하 및 생산성의 향상에 크게 기여할 수 있는 효과가 있다.
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