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다중 모드 간섭 결합기, 상기 다중 모드 간섭 결합기의 제1 측면에 연결되어 있는 입력 도파로, 상기 제1 측면과 마주보는 상기 다중 모드 간섭 결합기의 제2 측면에 연결되어 있는 출력 도파로, 상기 다중 모드 간섭 결합기의 소정 부분을 가열하기 위한 박막 히터 를 포함하는 광 소자
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제1항에서, 상기 광 소자는 상기 다중 모드 간섭 결합기의 소정 부분에 열을 가할 때 상기 다중 모드 간섭 결합기 내의 굴절률이 비대칭적으로 됨으로써 광 경로가 변화하는 현상을 이용하는 것인 광 소자
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제1항에서, 상기 박막 히터는 상기 다중 모드 간섭 결합기의 제3 측면의 소정 부분과 중첩하고 있으며, 상기 박막 히터와 중첩하는 상기 제3 측면의 소정 부분은 상기 제1 및 제2 측면과 접하지 않는 상기 제3 측면의 두 모서리 중 어느 한쪽으로 치우쳐 위치하는 광 소자
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제1항 또는 제2항에서, 상기 박막 히터는 Cr 또는 Al로 이루어진 것을 특징으로 하는 광 소자
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제1항 또는 제2항에서, 상기 다중 모드 간섭 결합기, 상기 입력 도파로 및 상기 출력 도파로는 실리카로 이루어진 것을 특징으로 하는 광 소자
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제1항 또는 제2항에서, 상기 출력 도파로는 2개인 광 소자
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제1항 또는 제2항에서, 상기 출력 도파로는 3개이고, 상기 박막 히터는 제1 히터와 제2 히터로 이루어지며, 상기 제1 히터와 제2 히터는 각각 상기 다중 모드 간섭 결합기의 제3 측면의 소정 부분과 중첩하고 있으며, 상기 제1 히터와 상기 제2 히터는 상기 다중 모드 간섭 결합기를 중심으로 하여 대칭적으로 배치되어 있는 광 소자
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8
제1항 또는 제2항에서, 상기 다중 모드 간섭 결합기는 직육면체, 중앙이 볼록한 4각 기둥 및 중앙이 오목한 4각 기둥 중의 어느 하나의 형태를 가지는 광 소자
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