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감광성 페이스트 조성물 및 그를 이용한 미세라인 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015144998
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 감광성 페이스트 조성물 및 그를 이용한 미세라인 형성 방법에 관한 것으로, 감광성 페이스트 조성물은 (a)알루미나/코발트 알루미네이트로 이루어진 파우더 25-40 중량%,(b)글래스 프리트 25-40 중량%,(c)애시드 펜던트 노보락 에폭시 아크릴레이트를 주성분으로 하는 제 1 단량체 10-30 중량%,(d)카르복시 폴리에스테르 아크릴레이트를 주성분으로 하는 제 2 단량체 5-10 중량%,(e)광개시제 0.1-3 중량%,(f)분산제 0.25-1 중량%,(g)윤활제 0.1-0.5 중량%와,(h)솔벤트 0.1-25 중량%를 함유하는 것을 특징으로 한다.본 발명은 광개시제와 감광성 단량체의 비율을 최적화하여 사진식각공정을 하여 비아홀 혹은 미세라인을 형성할 시, 라인의 가장자리를 샤프하게 깨끗한 형태로 형성할 수 있어, 미세라인 및 비아홀의 특성을 향상시키고, 미세라인 및 비아홀 형성시 표준사양을 만족 할 수 있으며, 100um이하를 갖는 전극의 초 미세 라인을 형성할 수 있는 효과가 있다.페이스트, 감광, 사진식각, 전극, 미세라인, 비아홀, 라인, 가장자리, 광개시제
Int. CL G03F 7/004 (2006.01)
CPC G03F 7/0047(2013.01) G03F 7/0047(2013.01) G03F 7/0047(2013.01) G03F 7/0047(2013.01) G03F 7/0047(2013.01) G03F 7/0047(2013.01)
출원번호/일자 1020010042483 (2001.07.13)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0466640-0000 (2005.01.06)
공개번호/일자 10-2003-0006639 (2003.01.23) 문서열기
공고번호/일자 (20050115) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.07.13)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임욱 대한민국 경기도평택시
2 박종철 대한민국 경기도성남시분당구
3 강남기 대한민국 서울특별시서초구
4 임진규 대한민국 경기도군포시
5 유찬세 대한민국 경기도평택시
6 이영신 대한민국 경기도수원시팔달구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박미숙 대한민국 경기도 남양주시 경춘로 ***(가운동, 브릭스타워)*층 ***호(해솔국제특허법률사무소)
2 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
3 정태련 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, ****호 (서초동, 현대전원오피스텔)(특허법인 동원)
4 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기 평택시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2001-0173874-16
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2001.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2001-5200517-94
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.04.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.05.19 수리 (Accepted) 9-1-2003-0019664-89
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0130887-18
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.05.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0219359-85
7 의견서
Written Opinion		 2004.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2004-0219360-21
8 등록결정서
Decision to grant		 2004.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0557799-35
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

(a)알루미나/코발트 알루미네이트로 이루어진 파우더 25-40 중량%,(b)글래스 프리트 25-40 중량%,(c)애시드 펜던트 노보락 에폭시 아크릴레이트를 주성분으로 하는 제 1 단량체 10-30 중량%,(d)카르복시 폴리에스테르 아크릴레이트를 주성분으로 하는 제 2 단량체 5-10 중량%,(e)광개시제 0

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 제 1 단량체와 제 2 단량체를 합한 중량과 광개시제의 중량의 비율은 29:3인 것을 특징으로 하는 감광성 페이스트 조성물

3 3

(a)알루미나/코발트 알루미네이트로 이루어진 파우더 25-40 중량%,(b)글래스 프리트 25-40 중량%,(c)애시드 펜던트 노보락 에폭시 아크릴레이트를 주성분으로 하는 제 1 단량체 10-30 중량%,(d)카르복시 폴리에스테르 아크릴레이트를 주성분으로 하는 제 2 단량체 5-10 중량%,(e)광개시제 0

4 4

제 3 항에 있어서, 상기 제 1 단계 전에,

(a)알루미나/코발트 알루미네이트로 이루어진 파우더 25-40 중량%,(b)글래스 프리트 25-40 중량%,(c)애시드 펜던트 노보락 에폭시 아크릴레이트를 주성분으로 하는 제 1 단량체 10-30 중량%,(d)카르복시 폴리에스테르 아크릴레이트를 주성분으로 하는 제 2 단량체 5-10 중량%,(e)광개시제 0

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.