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캔틸레버를 이용한 초정밀 습도 센서 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015145000
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 캔틸레버를 이용한 초정밀 습도 센서 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 기판에 지지되어 부상되며, 하부전극, PZT막과 상부전극으로 이루어진 PZT 캐패시터를 포함하고 있는 캔틸레버와; 습기의 흡수로 질량이 증가되어, 상기 캔틸레버가 휘어지는 변위를 발생시킬 수 있도록, 상기 캔틸레버의 상부에 형성된 습도 감지막으로 구성함으로써, 습도 감지막에서 흡수되는 습기량에 따라 캔틸레버의 휘어지는 변위 및 공진주파수의 감소와 같은 변화를 검출하여 습도를 초정밀하게 감지할 수 있는 효과가 발생한다. 습도, 센서, 감지, 캔틸레버
Int. CL G01N 27/12 (2006.01)
CPC G01R 23/02(2013.01) G01R 23/02(2013.01)
출원번호/일자 1020020016206 (2002.03.25)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0474516-0000 (2005.02.23)
공개번호/일자 10-2003-0077233 (2003.10.01) 문서열기
공고번호/일자 (20050309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.03.25)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박효덕 대한민국 경기도평택시
2 박준식 대한민국 경기도군포시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 평택시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2002-0087394-96
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.11.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.12.18 수리 (Accepted) 9-1-2003-0063214-23
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0261095-03
5 의견서
Written Opinion		 2004.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2004-0392419-95
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.08.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0392418-49
7 등록결정서
Decision to grant		 2005.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0074621-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 기판에 지지되어 부상되며, PZT(Pb(Zr,Ti)O3) 캐패시터를 포함하는 캔틸레버(70)와; 습기의 흡수로 질량이 증가되어, 상기 캔틸레버가 휘어지는 변위와 공진주파수의 변화를 발생시킬 수 있도록, 상기 캔틸레버의 상부에 형성된 습도 감지막(60)으로 구성되며, 상기 습도 감지막(60)은 그레인 사이즈가 0
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 PZT캐패시터는 하부전극, PZT막과 상부전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 캔틸레버를 이용한 초정밀 습도센서
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 습도 감지막의 두께는 1000 ~ 5000Å인 것을 특징으로 하는 캔틸레버를 이용한 초정밀 습도센서
6 6
삭제
7 7
삭제
8 7
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.