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마이크로 엑츄에이터

  • 기술번호 : KST2015145004
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 엑츄에이터 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 기판(10)의 상부에 상호 이격되어 고정된 제 1 및 2 앵커(15a,15b)와; 상기 제 1 앵커(15a)에서 제 2 앵커(15b)까지 지그재그 형상으로 연장되고, 상기 기판(10)으로부터 부상되며, 하부전극과 압전막의 적층구조를 포함하고 있는 지그재그 연장부와; 상기 제 1 앵커(15a)로부터 연장된 지그재그 연장부의 압전막 상부에 이격되어 극성이 다른 상부 전극들이 교대로 형성된 1차 상부전극 그룹과; 상기 1차 상부전극 그룹과 대칭되도록, 제 2 앵커(15b)로부터 연장된 지그재그 연장부의 압전막 상부에 극성이 다른 상부 전극들이 교대로 형성된 2차 상부전극 그룹으로 구성된다.따라서, 본 발명은 지그재그(Zigzag) 형상의 연장부에 극성을 달리하는 전극들을 형성하여 증폭된 변위를 발생시킬 수 있는 마이크로 엑츄에이터를 구현함으로써, 큰 변위를 요구하는 장치에도 적용할 수 있게 되는 효과가 발생한다.마이크로, 엑츄에이터, 변위, 증폭
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01)
출원번호/일자 1020020022329 (2002.04.23)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0453972-0000 (2004.10.12)
공개번호/일자 10-2003-0083927 (2003.11.01) 문서열기
공고번호/일자 (20041020) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.04.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이경일 대한민국 서울특별시서초구
2 박효덕 대한민국 경기도평택시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 평택시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2002-0122224-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.01.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0008528-65
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0100872-86
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0208582-03
6 의견서
Written Opinion		 2004.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2004-0208583-48
7 등록결정서
Decision to grant		 2004.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0323324-07
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

기판(10)의 상부에 상호 이격되어 고정된 제 1 및 2 앵커(15a,15b)와;

상기 제 1 앵커(15a)에서 제 2 앵커(15b)까지 지그재그 형상으로 연장되고, 상기 기판(10)으로부터 부상되며, 하부전극과 압전막의 적층구조를 포함하고 있는 지그재그 연장부와;

상기 제 1 앵커(15a)로부터 연장된 지그재그 연장부의 압전막 상부에 이격되어 극성이 다른 상부 전극들이 교대로 형성된 1차 상부전극 그룹과;

상기 1차 상부전극 그룹과 대칭되도록, 제 2 앵커(15b)로부터 연장된 지그재그 연장부의 압전막 상부에 극성이 다른 상부 전극들이 교대로 형성된 2차 상부전극 그룹으로 구성된 것을 특징으로 마이크로 엑츄에이터

2 2

제 1 항에 있어서,

광미러 또는 그립퍼와 연결할 수 있도록, 상기 지그재그 연장부의 중심영역에 돌출되어 형성된 지지부(300)가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 엑츄에이터

3 3

제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 지지재그 연장부는,

상기 제 1 앵커(15a)로부터 제 1 연장부(20), 제 1 수직 연장부(30), 제 2 연장부(40), 제 2 수직 연장부(50), 제 3 연장부(60), 제 3 수직 연장부(70)와 제 4 연장부(80)가 순차적으로 각각 90°방향을 회전되어 연장되며, 상기 제 4 연장부(80)는 제 2 앵커(15b)에 연장되어 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 엑츄에이터

4 4

제 1 항에 있어서,

상기 압전막은 PZT(Pb(Zr,Ti)O3) 또는 PMN(PbMg1/3Nb2/3O3)인 것을 특징으로 하는 마이크로 엑츄에이터

5 5

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6 6

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7 7

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