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그린시트에 복수개의 비아들 및 그린시트 가장자리에 정렬용 비아를 펀칭하고, 상기 복수개의 비아들에 전도성 페이스트(Paste)를 채워 복수의 그린시트들을 형성하는 제 1 단계와; 상기 복수개의 비아들을 감싸며, 상기 복수의 그린시트 중 일부의 상부에 감광 전도성 페이스트를 인쇄하여 도포하는 제 2 단계와; 상기 감광 전도성 페이스트가 인쇄된 그린시트 중 하나의 정렬용 비아와 측정포트 패턴이 형성된 마스크의 정렬 마크와 일치시킨 다음, 상기 그린시트의 감광 전도성 페이스트를 노광시키고, 이 후, 현상하는 사진 식각공정을 수행하여 하나의 그린시트에 측정포트 패턴을 형성하는 제 3 단계와; 상기 감광 전도성 페이스트가 인쇄된 그린시트 중 하나의 정렬용 비아와 인덕터 패턴이 형성된 마스크의 정렬 마크와 일치시킨 다음, 상기 그린시트의 감광 전도성 페이스트를 노광시키고, 이 후, 현상하는 사진 식각공정을 수행하여 하나의 그린시트에 인덕터 패턴을 형성하는 제 4 단계와; 상기 인덕터 패턴이 형성된 그린시트와 하층 연결 비아가 형성된 그린시트들을 적층하여, 각각의 그린시트에 형성된 비아로 최하층의 비아에서 인덕터 패턴까지 전기적으로 연결시키고, 다시 인덕터 패턴의 상부에 측정포트 패턴이 형성된 그린시트와 상층 연결 비아가 형성된 그린시트들을 적층하는 제 5 단계와; 최하층의 그린시트 하부에 도전성 페이스트를 인쇄하여 그라운드층을 형성하는 제 6 단계와; 상기 적층시킨 그린시트를 소성하는 제 7 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 인덕터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 단계와 제 3 단계 사이에, 상기 인쇄된 감광 전도성 페이스트의 두께 균일성을 위하여 상온에서 인쇄된 감광 전도성 페이스트를 상온에서 평탄화시키고, 80℃ 오븐에서 건조시키는 단계가 더 구비된 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 인덕터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 3 단계와 제 4 단계는, 사진 식각공정으로 잔존된 수분을 제거하기 위해, 오븐에서 건조시키는 것을 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 인덕터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 7 단계의 소성은, 850 ~ 900℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 인덕터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 4 단계의 사진식각공정으로 형성된 인덕터 패턴의 선폭은 10 ~ 200㎛ 인 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 인덕터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 4 단계의 사진식각공정으로 형성된 인덕터 패턴의 형상은 미앤더(Meander)형 또는 나선(Spiral)형인 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 인덕터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 그린시트는 결합제 성분이 물에 용해되지 않는 비수계이고, 유리-세라믹 복합재인 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 인덕터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 감광 전도성 페이스트는 Ag, AgPt, Au와 Cu 중 선택된 어느 하나의 저융점 금속이 포함된 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 인덕터의 제조방법
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