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그린시트를 관통하고 각각 이격되며, 제 1 그룹과 제 2 그룹으로 이루어진 복수개의 비아(Via)들을 그린시트에 펀칭하고, 전도성 페이스트를 각각의 비아에 충진시켜 복수의 그린시트들을 형성하는 제 1 단계와; 상기 복수개의 비아들을 감싸며, 상기 복수의 그린시트 각각의 상부에 감광 전도성 페이스트를 인쇄하는 제 2 단계와; 상기 복수의 그린시트 중, 일부 그린시트들의 감광 전도성 페이스트를 제 1 전극 패턴이 형성된 마스크로 노광하고 현상하는 사진식각 공정으로 전극 패턴이외의 부분을 제거하여, 상기 제 1 그룹의 비아들의 각각을 감싸고, 각각 분리되는 제 1 전극들을 상기 그린시트들 상부에 각각 형성하는 제 3 단계와; 상기 남아있는 그린시트들 각각의 감광 전도성 페이스트를 제 2 전극 패턴이 형성된 마스크로 노광하고 현상하는 사진식각 공정으로 전극 패턴이외의 부분을 제거하여, 상기 제 2 그룹의 비아들 각각을 감싸고, 각각 분리되는 제 2 전극들을 상기 그린시트 상부에 각각 형성하는 제 4 단계와; 상기 제 1 전극이 형성된 그린시트의 상부에 상기 제 2 전극이 형성된 그린시트를 교대로 적층시키되, 상기 제 1 그룹의 비아는 상기 제 1 그룹의 비아와 전기적으로 연결시키고, 상기 제 2 그룹의 비아는 상기 제 2 그룹의 비아와 전기적으로 연결시켜 적층시키는 제 5 단계와; 상기 제 5 단계를 통해 적층된 적층시킨 그린시트를 소성하는 제 6 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 내장형 캐패시터를 갖는 세라믹 적층 소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 단계와 제 3 단계 사이에, 상기 감광 전도성 페이스트의 두께 균일성을 위하여 상온에서 인쇄된 감광 전도성 페이스트를 상온에서 평탄화시키고, 80℃ 오븐에서 10분 ~ 20분 동안 건조시키는 단계가 더 구비된 것을 특징으로 하는 내장형 캐패시터를 갖는 세라믹 적층 소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 6 단계의 소성은, 850 ~ 900℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 내장형 캐패시터를 갖는 세라믹 적층 소자의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 그린시트는 결합제 성분이 물에 용해되지 않는 비수계이고, 유리-세라믹 복합재인 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 캐패시터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 감광 전도성 페이스트는 Ag, AgPt, Au와 Cu 중 선택된 어느 하나의 저융점 금속이 포함된 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 캐패시터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 단계에는, 복수개의 비아(Via)들을 그린시트에 펀칭할 때, 상기 제 3 단계와 상기 제 4 단계에서 그린시트의 감광 전도성 페이스트를 사진식각하는 공정시에, 마스크의 정렬마크와 정밀한 정렬을 위하여, 각각의 그린시트의 가장자리(Edge)에 정렬용 비아를 펀칭하는 것이 포함된 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 캐페시터의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 단계에는, 복수개의 비아(Via)들을 그린시트에 펀칭할 때, 상기 제 3 단계와 상기 제 4 단계에서 그린시트의 감광 전도성 페이스트를 사진식각하는 공정시에, 마스크의 정렬마크와 정밀한 정렬을 위하여, 각각의 그린시트의 가장자리(Edge)에 정렬용 비아를 펀칭하는 것이 포함된 것을 특징으로 하는 내장형 세라믹 캐페시터의 제조방법
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