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실리콘 기판의 상, 하부 각각에 식각방지막과 저응력막을 순차적으로 형성하는 제 1 단계와; 상기 실리콘 기판 상부에 있는 저응력막 상부의 일부 영역에 마이크로폰의 하부전극과 일렉트릿 물질막을 순차적으로 형성하는 제 2 단계와; 상기 저응력막, 하부전극 및 일렉트릿 물질막을 감싸며 희생층을 형성하고, 상기 희생층을 식각하여 상기 하부전극과 이격된 부분에 복수개의 요홈들을 형성하는 제 3 단계와; 상기 희생층과 복수개의 요홈들을 감싸며 금속으로 이루어진 종자층(Seed layer)을 형성하는 제 4 단계와; 상기 종자층 상부에 도금틀층을 형성하고 상기 도금틀층의 일부를 제거하여 상부전극의 지지부를 형성하기 위한 상기 복수개의 요홈 영역을 형성하고, 상기 복수개의 요홈들과 이격된 상기 하부전극 상측에 마이크로폰의 공기유입구들을 형성하기 위한 복수개의 작은 요홈들을 형성하는 제 5 단계와; 상기 복수개의 요홈과 복수개의 작은 요홈들에 금속층을 도금하는 제 6 단계와; 상기 희생층과 종자층, 도금틀층을 제거하여 복수개의 공기유입구를 갖으며, 복수개의 지지부에 지지되어 부상되는 상부전극을 형성하는 제 7 단계와; 상기 일렉트릿 물질막에 전하를 주입시키는 제 8 단계로 이루어진 일렉트릿 마이크로폰의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 식각방지막을 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 일렉트릿 마이크로폰의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 단계의 저응력막은 실리콘 질화막과 산화막이 조합된 다층막, 실리콘 질화막, 폴리이미드(Polyimide)막과 테플론(Teflon)막 중 선택된 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 일렉트릿 마이크로폰의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 단계의 일렉트릿막은 실리콘 질화막과 실리콘 산화막이 조합된 다층막, 실리콘 질화막과 테플론 계열(FEP, PTFE, AF)막 중 선택된 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 일렉트릿 마이크로폰의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 3 단계의 희생층은 포토레지스트층 또는 실리콘 산화막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 일렉트릿 마이크로폰의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 5 단계의 도금틀층은 포토레지스트층으로 형성하는 것을 특징으로 하는 일렉트릿 마이크로폰의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 8 단계의 일렉트릿 물질막에 전하를 주입시키는 것은, 전원을 하부전극과 복수의 핀들을 갖는 플레이트에 연결하고, 상기 복수의 핀들을 상기 상부전극에 형성된 복수의 공기유입구들에 삽입시킨 후, 상기 전원에서 전압을 인가하여 상기 일렉트릿 물질막에 전하를 주입시키는 것을 특징으로 하는 일렉트릿 마이크로폰의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 6 단계와 제 7 단계 사이에 또는 상기 제 7 단계의 희생층, 종자층과 도금틀층을 제거하는 공정 사이에, 기판을 절단하여, 각 단위 소자를 분리시키는 공정이 더 구비된 것을 특징으로 하는 일렉트릿 마이크로폰의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 단계에서 제 8 단계까지의 공정을 수행하여 제조된 일렉트릭 마이크로폰을, 각 단위 소자 별로 자른 뒤 메탈캔, 전자기 차폐처리된 세라믹과 플라스틱 패키지 중 선택된 어느 하나의 패키지에 삽입, 고정시킨 후, 부가적인 회로 소자를 추가하여 전극을 연결하고 음파(音波)가 들어갈 수 있는 패키지 개방부가 형성되도록 밀봉하여 패키징하는 것을 특징으로 하는 일렉트릿 마이크로폰의 제조 방법
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제 1 항 또는 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 단계 내지 제 6 단계 사이에, 상기 실리콘 기판의 하부에 있는 식각방지막과 실리콘 기판을 순차적으로 식각하여 그 일부를 제거하여 상기 하부전극의 하측에 있는 상기 식각방지막과 저응력막이 부상된 멤브레인(Membrane)을 형성하는 공정이 더 구비된 것을 특징으로 하는 일렉트릿 마이크로폰의 제조 방법
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제 1 항 또는 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 단계 내지 제 6 단계 사이에, 상기 실리콘 기판의 하부에 있는 식각방지막과 실리콘 기판을 순차적으로 식각하여 그 일부를 제거하여 상기 하부전극의 하측에 있는 상기 식각방지막과 저응력막이 부상된 멤브레인(Membrane)을 형성하는 공정이 더 구비된 것을 특징으로 하는 일렉트릿 마이크로폰의 제조 방법
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