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초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터 및 그를 이용한가스 분석 장치

  • 기술번호 : KST2015145077
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터 및 그를 이용한 가스 분석 장치에 관한 것으로, MEMS(Micro Electro Mechanical System)공정 기술과 유전체 다중 박막 코팅 기술을 이용하여 자기력으로 구동할 수 있는 초소형 구동기와 함께 일정 반사율을 갖는 유전체 박막 미러를 제작하여 파장 가변이 가능한 패브리-페롯 필터(Fabry-Perot Filter)를 제조함으로써 소자의 크기를 줄이고, 원형 코일의 전류를 조절하여 원형 코일에 의해 형성되는 자기력의 세기를 제어함으로써 패브리 페롯 필터를 통과할 수 있는 파장을 선택하고, 또한 다중 파장을 스켄닝할 수 있다. 이와 같은 특징을 이용하여 특정 가스의 성분과 농도를 측정할 수 있게 한다.패브리-페롯 필터, 가스 흡광, 적외선 센서, 유전체 박막 미러
Int. CL G02B 5/28 (2006.01)
CPC G02B 26/085(2013.01) G02B 26/085(2013.01) G02B 26/085(2013.01)
출원번호/일자 1020020065568 (2002.10.25)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0453975-0000 (2004.10.12)
공개번호/일자 10-2004-0036967 (2004.05.04) 문서열기
공고번호/일자 (20041020) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.10.25)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박광범 대한민국 경기도평택시
2 박효덕 대한민국 경기도평택시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 평택시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2002-0352258-34
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.05.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2004-0033703-35
4 등록결정서
Decision to grant		 2004.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0385923-77
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
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번호 청구항
1 1

일부 영역이 식각된 기판과;

상기 기판의 상부에 형성되고, 상기 식각된 일부 영역에 의해 부상되어 멤브레인(Membrane)이 형성되는 제 1 식각방지층과;

상기 제 1 식각방지층의 상부에 형성된 제 1 미러와;

상기 제 1 미러의 상부에 형성되며, 내측에 요홈이 형성되어 상기 제 1 미러를 노출시키는 희생층과;

상기 희생층의 상면과 측면을 감싸며 형성되고, 상기 희생층의 요홈과 연통되는 개구가 형성되며, 상기 희생층의 요홈으로 노출된 상기 제 1 미러로부터 일정간격 이격되어서 부상되어 있는 제 2 미러와;

상기 제 2 미러의 상부에 형성되고, 상기 제 2 미러의 개구와 연통하는 개구가 형성되어 있는 제 2 식각방지층과;

상기 제 2 식각방지층의 상부에 형성되며, 상기 제 1 식각방지층의 멤브레인 영역 외측으로 배열되는 원형 코일패턴과;

상기 원형 코일패턴의 일측에 연결되며, 상기 제 2 식각방지층 상부에 형성된 제 1 전극단자와;

상기 제 1 전극단자와 상기 원형 코일패턴의 일부를 노출시키며 전면에 형성된 코일절연층과;

상기 노출된 원형코일패턴에 연결되어, 상기 코일절연층의 상부에 형성된 제 2 전극단자와;

상기 원형 코일패턴 외측으로 일정거리 이격된 상측에 정렬된 원통형 영구자석 또는 전자석으로 이루어진 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 제 1과 2 미러는 각각 유전체 박막을 다층으로 코팅한 박막인 것을 특징으로 하는 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 제 1과 2 미러는 일정한 간격을 가지며,

광학적으로 평행하게 정렬되도록 제 1과 2 미러와 상기 원통형 영구자석 또는 전자석의 중심축은 동일선상으로 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터

4 4

제 1 항에 있어서,

상기 제 1과 2 식각방지층은 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터

5 5

일부 영역이 식각된 기판과; 상기 기판의 상부에 형성되고, 상기 식각된 일부 영역에 의해 부상되어 멤브레인(Membrane)이 형성되는 제 1 식각방지층과;

상기 제 1 식각방지층의 상부에 형성된 제 1 미러와; 상기 제 1 미러의 상부에 형성되며, 내측에 요홈이 형성되어 상기 제 1 미러를 노출시키는 희생층과; 상기 희생층의 상면과 측면을 감싸며 형성되고, 상기 희생층의 요홈과 연통되는 개구가 형성되며, 상기 희생층의 요홈으로 노출된 상기 제 1 미러로부터 일정간격 이격되어서 부상되어 있는 제 2 미러와; 상기 제 2 미러의 상부에 형성되고, 상기 제 2 미러의 개구와 연통하는 개구가 형성되어 있는 제 2 식각방지층과; 상기 제 2 식각방지층의 상부에 형성되며, 상기 제 1 식각방지층의 멤브레인 영역 외측으로 배열되는 원형 코일패턴과; 상기 원형 코일패턴의 일측에 연결되며, 상기 제 2 식각방지층 상부에 형성된 제 1 전극단자와; 상기 제 1 전극단자와 상기 원형 코일패턴의 일부를 노출시키며 전면에 형성된 코일절연층과; 상기 노출된 원형코일패턴에 연결되어, 상기 코일절연층의 상부에 형성된 제 2 전극단자와; 상기 원형 코일패턴 외측으로 일정거리 이격된 상측에 정렬된 원통형 영구자석 또는 전자석으로 이루어진 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터와,

상기 패브리-페롯 필터의 원통형 영구자석 또는 전자석의 타측 방향으로 상기 패브리-페롯 필터의 제 1과 2 미러와 광학적으로 정렬된, 가스가 내장된 가스용기와,

상기 투명가스용기를 통하여 상기 패브리-페롯 필터의 제 1과 2 미러와 광학적으로 정렬된 광원과,

상기 패브리-페롯 필터의 기판과 일정거리 이격되며, 상기 적외선 광원 및 제 1과 2 미러와 광학적으로 정렬된 대역통과필터(Band Pass Filter)와,

상기 대역통과필터와 이격되어 있고, 상기 제 1과 2 미러와 대역통과필터가 광학적으로 정렬된 적외선 광센서를 포함하여 구성된 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터를 이용한 가스 분석 장치

6 6

제 5 항에 있어서,

상기 적외선 광원, 제 1과 2 미러, 상기 원통형 영구자석 또는 전자석과 대역통과필터의 중심축은 동일선상에서 광학적으로 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 초소형 자기력 구동 패브리-페롯 필터를 이용한 가스 분석 장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.