맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈 및그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015145083
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 광도파로 소자와 다수의 광섬유를 정렬하여 부착시키는 피그테일링(Pigtailing) 공정시 수동정렬이 가능한 기술을 제공하며, 광도파로 소자 패키징시 수동정렬 방식에 의한 패키징 공정이 가능하기 때문에 레이저광을 입력시키면서 출력되는 광의 세기를 모니터링 하면서 정렬할 필요가 없이 기계적인 조립만으로도 정렬이 완료되기 때문에 고속 패키징이 가능하여 대량생산을 할 수 있는 효과가 있다.광섬유, 수동정렬소자, 광도파로 소자, 패키징, 수취홈
Int. CL G02B 6/12 (2006.01)
CPC G02B 6/13(2013.01) G02B 6/13(2013.01) G02B 6/13(2013.01)
출원번호/일자 1020020071252 (2002.11.15)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2004-0042672 (2004.05.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.11.15)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정석원 대한민국 경기도오산시
2 조진우 대한민국 경기도성남시분당구
3 박효덕 대한민국 경기도평택시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2002-0378227-27
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.05.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.06.11 수리 (Accepted) 9-1-2004-0034018-46
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0286874-83
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2004.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0517696-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

복수의 광도파로들이 일정한 간격으로 이격되어 내장된 실리카막이 기판의 상부에 형성된 광도파로 소자와;

상면과 하면을 갖는 본체와, 상기 본체 상면의 가장자리로부터 이격된 내측에 홈으로 형성되며, 광도파로 소자의 실리카막이 안착되는 소자수취홈과, 상기 소자수취홈과 연통되고, 상기 본체 상면에 형성되며, 광섬유를 안착시킬 수 있는 복수개의 V홈들로 이루어진 광섬유 수동정렬소자와;

상기 광섬유 수동정렬소자의 복수개의 V홈들에 각각 안착되어, 상기 광도파로와 광학적으로 정렬된 복수의 광섬유들로 구성된 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈

2 2

상면의 가장자리로부터 이격된 내측에 형성된 소자수취홈과, 상기 소자수취홈과 연통되도록 상면에 형성된 복수개의 V홈들을 구비한 광섬유 수동정렬소자를 제조하는 제 1 단계와;

상기 광섬유 수동정렬소자의 소자수취홈에 복수개의 광도파로가 내장된 광도파로 소자의 실리카막을 안착시키고 접착시키는 제 2 단계와;

상기 복수의 V홈들에 각각 대응시켜 광섬유들을 안착시키고, 상기 광섬유들을 각각의 광도파로와 광학적으로 정렬시키고, 광섬유를 V홈에 본딩하는 제 3 단계로 구성된 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈의 제조방법

3 3

제 2 항에 있어서,

상기 제 1 단계의 광섬유 수동정렬소자를 제조하는 것은,

실리콘 기판의 상부에 실리콘 질화막을 형성하고, 상기 실리콘 질화막의 상부에 금속층을 형성하는 단계와;

상기 금속층에 사진식각공정을 수행하여 수동정렬소자와 광도파로 소자를 원활하게 정렬시키기 위한 복수의 정렬마크를 형성하는 단계와;

상기 금속층과 상기 실리콘 질화막의 일부영역을 실리콘 기판이 노출되도록 사진식각공정으로 제거하여 소자수취홈을 형성할 영역과 복수의 V홈을 형성할 영역을 정의하는 단계와;

상기 소자수취홈을 형성할 영역과 복수의 V홈을 형성할 영역을 식각하여 상기 실리콘 기판 가장자리로부터 이격된 내측에 소자수취홈을 형성하고, 상기 소자수취홈과 연통하는 복수의 V홈들을 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈의 제조방법

4 4

제 3 항에 있어서,

상기 제 2 단계에서 광도파로 소자에는 상기 수동정렬소자에 형성된 정렬마크와 대응되는 복수개의 정렬마크가 더 형성되어 있으며,

상기 수동정렬소자의 정렬마크와 광도파로 소자의 정렬마크를 일치시켜 상기 광섬유 수동정렬소자의 소자수취홈에 광도파로 소자의 실리카막을 안착시키는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈의 제조방법

5 5

제 4 항에 있어서,

상기 수동정렬소자의 정렬마크와 광도파로 소자의 정렬마크를 일치시켜 안착시키는 것은,

적외선 카메라를 이용하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈의 제조방법

6 6

제 2 항에 있어서,

상기 광도파로 소자는,

베이스 기판과,

상기 베이스 기판의 상부에 형성된 실리카막과,

상기 실리카막의 일측에서 타측으로 연장되어 각각 실리카막에 내장된 복수개의 광도파로들로 이루어진 것을 특징으로 하는 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.