1 |
1
인체영상센서용 격벽구조물에 있어서, 빛을 감지하는 이미지 센서의 상부에 위치하며 소정 크기와 소정 간격의 변환물질이 채워진 구멍들이 형성된 다층의 격벽구조물로 구성된 것을 특징으로 하는 인체영상센서용 격벽구조물
|
2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 이미지 센서는 포토다이오드, CMOS 또는 CCD 센서임을 특징으로 하는 인체영상센서용 격벽구조물
|
3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 격벽구조물의 각 층은 수 마이크론 내지 수십 마이크론의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 인체영상센서용 격벽구조물
|
4 |
4
제 1항에 있어서, 상기 격벽구조물의 구멍의 크기는 20 내지 30 마이크론임을 특징으로 하는 인체영상센서용 격벽구조물
|
5 |
5
제 1항에 있어서, 상기 변환물질은 CsI, NaI, CsBr, NaBr 등의 형광물질임을 특징으로 하는 인체영상센서용 격벽구조물
|
6 |
6
제 1항에 있어서, 상기 구멍의 형태는 벌집모양, 원형 또는 사각형임을 특징으로 하는 인체영상센서용 격벽구조물
|
7 |
7
제 1항에 있어서, 상기 구멍의 재질은 알루미늄과 같은 반사효율이 좋은 물질임을 특징으로 하는 인체영상센서용 격벽구조물
|
8 |
8
인체영상센서의 제조 방법에 있어서, 소정 크기와 소정 간격의 구멍들이 형성된 격벽구조물의 상기 구멍에 변환물질을 채우는 단계; 상기 변환물질이 채워진 격벽구조물을 서로 겹쳐 다층의 격벽구조물로 정렬하는 단계; 및 상기 정렬된 격벽구조물 하부에 빛을 감지하는 이미지 센서를 정렬하는 단계 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 격벽구조를 갖는 인체영상센서의 제조 방법
|
9 |
9
제 8항에 있어서, 상기 격벽구조물은 X-선에 반응하는 액상이나 필름 또는 플레이트 형태의 고분자 물질을 평평한 기판 위에 접착하고, 원하는 구조를 갖는 마스크를 이용하여 노광 및 현상을 반복하여 제작하는 것을 특징으로 하는 격벽구조를 갖는 인체영상센서의 제조 방법
|
10 |
10
제 8항에 있어서, 상기 격벽구조물은 감광물질을 기판에 접착하고, 원하는 구조를 갖는 마스크를 이용하여 노광 및 현상을 반복하여 제작하는 것을 특징으로 하는 격벽구조를 갖는 인체영상센서의 제조 방법
|
11 |
10
제 8항에 있어서, 상기 격벽구조물은 감광물질을 기판에 접착하고, 원하는 구조를 갖는 마스크를 이용하여 노광 및 현상을 반복하여 제작하는 것을 특징으로 하는 격벽구조를 갖는 인체영상센서의 제조 방법
|