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인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015145144
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 변환 물질을 코팅한 후 격벽구조물을 형성시키도록 부분적으로 식각하는 인체영상센서의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법은 기판 상에 변환물질을 코팅하는 단계; 상기 코팅된 변환물질 상부에 패턴을 형성하는 단계; 상기 패턴을 마스크로 사용하여 변환물질을 식각하는 단계; 상기 식각된 변환물질 상에 격벽재료를 증착하는 단계; 상기 격벽재료를 평탄화하는 단계 및 상기 기판을 제거하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다. 따라서, 본 발명의 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법은 좁고 긴 터널 형태의 격벽구조물에 변환물질을 채워넣는 것이 아닌 변환물질을 코팅한 후 격벽형태를 만들어 격벽구조물을 채우는 형태로서, 격벽구조를 만들 때 사용하는 LIGA 공정과 같이 광가속기를 이용할 필요없이 건식 식각장치만을 이용하기 때문에 제조 방법이 용이한 장점이 있고, 공정시간도 단축되는 효과가 있다. 인체영상센서, 식각, 제조
Int. CL G01T 1/16 (2006.01)
CPC G01T 1/161(2013.01) G01T 1/161(2013.01) G01T 1/161(2013.01) G01T 1/161(2013.01)
출원번호/일자 1020030086246 (2003.12.01)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0606505-0000 (2006.07.21)
공개번호/일자 10-2005-0052712 (2005.06.07) 문서열기
공고번호/일자 (20060802) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.12.01)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최성호 대한민국 경기도평택시비
2 정석원 대한민국 경기도오산시
3 박광범 대한민국 경기도평택시
4 조남규 대한민국 경기도용인시
5 이대성 대한민국 경기도평택시
6 박효덕 대한민국 경기도성남시분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2003-0457242-23
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2005-0047378-06
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0550813-14
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.12.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0776942-93
7 의견서
Written Opinion		 2005.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2005-0776948-66
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0113553-00
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
인체영상센서의 격벽구조물 제조 방법에 있어서, 기판 상에 변환물질을 코팅하는 단계; 상기 코팅된 변환물질 상부에 패턴을 형성하는 단계; 상기 패턴을 마스크로 사용하여 변환물질을 식각하는 단계; 상기 식각된 변환물질 상에 격벽재료를 증착하는 단계; 상기 격벽재료를 평탄화하는 단계; 및 상기 기판을 제거하는 단계 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 변환물질은 CsI, NaI, CsBr, NaBr 등의 형광물질임을 특징으로 하는 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 변환물질은 박막코팅 또는 슬러리 형태로 만들어 후막코팅하는 것을 특징으로 하는 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 식각은 건식식각을 이용함을 특징으로 하는 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 평탄화 공정은 상기 변환물질을 식각정지층으로 이용하는 것을 특징으로 하는 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 격벽재료는 알루미늄, 은 또는 폴리이미드를 사용하는 것을 특징으로 하는 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법
7 6
제 1항에 있어서, 상기 격벽재료는 알루미늄, 은 또는 폴리이미드를 사용하는 것을 특징으로 하는 인체영상센서의 격벽 구조물 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.