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소정의 밀대를 외부로부터 인가되는 전압에 따라 팽창 또는 수축되는 신축부와 연결하여 상기 신축부의 팽창 또는 수축에 따라 전/후 방향으로 이동되도록 형성된 제1, 제2, 제3 미소이동부;일단부가 절단된 소정 제1회전수단의 일면에 상기 제1미소이동부를 결착시키고, 더불어 상기 제1회전수단의 절단된 일단부가 제2미소이동부의 밀대와 소정거리만큼 이격되도록 상기 제2미소이동부와 제1회전수단을 연결시켜, 상기 제2미소이동부의 밀대 이동에 따라 제1회전수단이 회전축을 중심으로 회전하여 상기 제1회전수단의 일면에 결착된 제1미소이동부를 틸팅시키는 틸트구동부;일단이 절단된 소정 제2회전수단을 상기 제3미소이동부의 밀대와 소정거리만큼 이격되게 제3미소이동부에 연결시키고, 제2회전수단의 일면을 상기 틸트구동부와 결합하여, 상기 제3미소이동부의 밀대 이동에 따라 제2회전수단과 틸트구동부를각각의 회전축을 중심으로 회전시켜 상기 틸트구동부의 제1회전수단에 연결된 제1미소이동부를 팬운동시키는 팬구동부로 이루어지는, 3자유도 미소변위 구동장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1, 2, 3미소이동부 각각은; 외부로부터 인가되는 전압에 따라 길이방향으로 팽창 또는 수축하는 신축부; 상기 신축부의 팽창 또는 수축에 따라 전/후 방향으로 이동하는 밀대; 상기 신축부와 밀대를 상호간에 연결하여 고정시키는 소정의 고정부재; 상기 밀대의 일단부가 노출되도록 하여 밀대와 신축부 및 고정부재를 수용하는 원통형의 내장용 케이스를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치
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제 2 항에 있어서, 상기 신축부는; 압전세라믹인 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치
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제 1 항에 있어서, 상기 틸트구동부의 제1회전수단은;일단에 소정의 결착홈이 형성되고, 일면의 중심이 제1미소이동부와 결착되며, 상기 제2미소이동부의 밀대가 이격거리만큼 이동함에 따라 소정의 절단부를 밀어 설정변위만큼 회전축을 중심으로 회전하게 일단부가 절단성형된 원환형의 제1회전체; 상기 제1회전체에 형성된 결착홈에 결착되는 판형의 결착부재;소정의 절단부에 수용홈이 형성되고, 상기 제1회전체가 회전되도록 결합된 틸트구동베이스; 상기 틸트구동베이스에 형성된 수용홈에 압입되어, 상기 제2미소이동부의 밀대 복귀에 따라 제1회전체에 결착된 상기 결착부재를 밀어 상기 제1회전체를 연동적으로 복귀시키는 탄성부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치
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제 4 항에 있어서, 상기 탄성부재는; 스프링인 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치
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제 4 항에 있어서, 일단은 상기 제2미소이동부를 홀딩하며, 타단은 상기 틸트구동베이스와 결합하는 제1결합부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치
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제 4 항에 있어서, 제1회전체는; 일면과 타면의 중심에 고정홈과 회전축홈이 각기 형성되고, 상기 틸트구동베이스는; 중심에 수용홈 또는 수용공이 형성되며, 상기 제1회전체의 회전축홈과 틸트구동베이스의 수용공 또는 수용홈을 연결해 제1회전체와 틸트구동베이스를 결합시키는 소정의 회전부재를 추가로 포함한 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치
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제 7 항에 있어서, 회전부재는; 베어링인 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치
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제 1 항에 있어서, 상기 팬구동부의 제2회전수단은;일단에 결착홈이 형성되고, 일면의 중심이 틸트구동부의 제2회전수단과 결합되며, 상기 제3미소이동부의 밀대가 소정거리만큼 이동함에 따라 소정의 절단부를 밀어 설정변위만큼 회전축을 중심으로 회전되게 일단부가 절단성형된 원환형의 제2회전체;상기 제2회전체에 형성된 결착홈에 결착되는 판형의 결착부재;소정의 절단부에 수용홈이 형성되고, 상기 제2회전체가 회전되도록 결합된 팬구동베이스;상기 팬구동베이스에 형성된 수용홈에 압입되어, 상기 제3미소이동부의 밀대복귀에 따라 상기 결착부재를 밀어 제2회전체의 상부에 결합시킨 틸트구동부를 연동적으로 복귀시키는 제2탄성부재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치
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제 9 항에 있어서, 일단은 상기 제3미소이동부의 끝단부가 돌출되게 제3미소이동부를 홀딩하고, 타단은 상기 팬구동베이스와 결합하는 제2결합부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치
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제 9 항에 있어서, 일단은 상기 제3미소이동부의 끝단부가 돌출되게 제3미소이동부를 홀딩하고, 타단은 상기 팬구동베이스와 결합하는 제2결합부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 3자유도 미소변위 구동장치
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