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멤스 스위치에 있어서, 상부에 앵커가 있으며 상기 앵커상에서 지지되는 압전 액튜에이터가 구비된 캔틸레버가 있는 제 1 기판; 상기 제 1 기판 상부의 양측에 각각 고정된 한 쌍의 실링 링; 하부에 시소 지지용 앵커가 있으며 상기 한 쌍의 실링 링에 부착된 제 2 기판; 상기 제 2 기판에 위치하며 도전성 물질이 코팅되어 있는 비아홀; 상기 제 2 기판 하부에 위치하며 상기 비아홀과 각각 전기적으로 연결된 한 쌍의 스위치 전극; 상기 시소 지지용 앵커의 하부의 양측에 연장되어 온/오프 동작을 수행하기 위한 시소; 상기 시소의 양선단에 형성되어 있으며 상기 스위치 전극들과 대향하는 스위치 접점; 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 위치하여 상기 스위치 전극으로부터 전압을 입력받는 압전 액튜에이터 전극; 및 상기 제 1 기판과 제 2 기판의 접합 두께 확보를 위해 상기 한 쌍의 실링 링과 상기 압전 액튜에이터 전극 사이에 위치하는 레퍼런스 스틱 을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 멤스 스위치
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제 1항에 있어서, 상기 제 1 기판과 제 2 기판의 간격은 일정하게 유지하는 부분과 접합하는 부분이 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치
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제 1항에 있어서, 상기 실링 링은 실리콘 질화막층, 백금층, 압전층, 백금층, 금층, 솔더, 구리층 및 금층으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치
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제 1항에 있어서, 상기 시소는 금층과 구리층이 순서대로 적층되어 있으며, 상기 구리층은 금층에서 분리되어 있음을 특징으로 하는 멤스 스위치
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제 1항에 있어서, 상기 압전 액튜에이터가 구비된 캔틸레버는 실리콘층, 백금층, 압전층, 백금층 및 금층으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치
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제 1항에 있어서, 상기 레퍼런스 스틱은 희생층, 실리콘 질화막층, 백금층, 압전층, 백금층, 금층, 구리층 및 금층으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치
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멤스 스위치의 패키징 방법에 있어서,제 1 기판에 희생층, 실리콘 질화막층, 백금층, 압전층, 백금층, 금층을 순서대로 적층하여 압전 액튜에이터 캔틸레버와 제 1 레퍼런스 스틱을 형성하고 상기 제 1 기판에 실리콘 질화막층, 백금층, 압전층, 백금층, 금층을 순서대로 적층하여 제 1 압전 액튜에이터 전극과 제 1 실링 링을 형성하는 단계;상기 희생층을 제거하는 단계;제 2 기판에 금층, 구리층을 순서대로 적층하여 제 2 압전 액튜에이터 전극, 제 2 레퍼런스 스틱 및 제 2 실링 링을 형성하고 상기 제 2 기판에 금층, 희생층, 구리층을 순서대로 적층하여 시소를 형성하는 단계;상기 시소의 희생층을 제거하는 단계;상기 제 2 기판의 상기 제 2 실링 링과 상기 제 2 압전 액튜에이터 전극에 솔더를 적층하는 단계; 및상기 제 1 기판과 제 2 기판을 접합하는 단계를 포함하는 멤스 스위치의 패키징 방법
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제 7항에 있어서, 상기 제 1 기판의 희생층을 제거하는 단계는 상기 압전 액튜에이터 캔틸레버의 희생층만 제거하는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치의 패키징 방법
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제 7항에 있어서,상기 제 1 레퍼런스 스틱의 희생층은 실리콘 질화막으로 감싸는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치의 패키징 방법
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제 7항에 있어서,상기 제 1 레퍼런스 스틱의 희생층은 실리콘 질화막으로 감싸는 것을 특징으로 하는 멤스 스위치의 패키징 방법
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