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복수의 저온동시소성 세라믹 그린시트들 중 일부의 그린시트들에 비아홀들을 펀칭하고, 상기 비아홀들에 전도성 페이스트를 충진하는 제 1 단계와; 상기 제 1 단계에서 비아홀이 형성된 그린시트들 중, 적어도 4개 이상의 그린시트들에 캐패시터 전극을 형성하는 제 2 단계와; 상기 제 1 단계에서 비아홀이 형성된 그린시트들 중, 적어도 1개 이상의 그린시트들에 한 쌍의 인덕터 패턴을 사진 식각공정을 수행하여 형성하는 제 3 단계와; 상기 제 1 단계 내지 제 3 단계에서 준비된 비아홀들이 형성되지 않은 그린시트, 캐패시터 전극이 형성된 그린시트, 캐패시터 전극이 형성된 그린시트, 인덕터 패턴이 형성된 그린시트, 캐패시터 전극이 형성된 그린시트, 캐패시터 전극이 형성된 그린시트와 비아홀들이 형성되지 않은 그린시트가 순차적으로 적층하는 제 4 단계와; 상기 적층된 그린시트들의 측면에 하나의 입력단자와 두 개의 출력단자를 형성하는 제 5 단계로 구성된 적층형 발룬 트랜스포머의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 제 2 단계에서, 상기 캐패시터 전극은 스크린 인쇄로 형성하는 것을 특징으로 하는 적층형 발룬 트랜스포머의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 제 3 단계의 인덕터 패턴은, 그린시트 상부에 감광성 전도성 페이스트막을 형성하는 단계와; 상기 감광성 전도성 페이스트막을 노광하는 단계와; 상기 노광된 상기 감광성 전도성 페이스트막을 현상하는 단계와; 상기 현상된 감광성 전도성 페이스트막을 세척하고, 건조하는 단계를 수행하여 그린시트에 형성하는 것을 특징으로 하는 적층형 발룬 트랜스포머의 제조 방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 인덕터 패턴의 선폭은 10 ~ 80㎛인 것을 특징으로 하는 적층형 발룬 트랜스포머의 제조 방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 인덕터 패턴은, 나선(Spiral)형, 미앤더(Meander)형과 적층 코일형 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 적층형 발룬 트랜스포머의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 제 5 단계의 입력단자와 출력단자는, 전도성 페이스트를 적층된 그린시트의 측면에 도포하고, 소성하여 형성하는 것을 특징으로 하는 적층형 발룬 트랜스포머의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 제 4 단계에서 적층된 구조물은, 제 1 그린시트와; 상기 제 1 그린시트 상부에 적층되며, 하부전극이 상면에 형성된 제 2 그린시트와; 상기 제 2 그린시트 상부에 적층되며, 상기 제 2 그린시트의 하부전극에 대향되는 상부전극이 상면에 형성된 제 3 그린시트와; 상기 제 3 그린시트 상부에 적층되며, 한 쌍의 인덕터 패턴이 상면에 형성된 제 4 그린시트와; 상기 제 4 그린시트 상부에 적층되며, 하부전극이 상면에 형성된 제 5 그린시트와; 상기 제 5 그린시트 상부에 적층되며, 상기 제 5 그린시트의 하부전극에 대향되는 상부전극이 상면에 형성된 제 6 그린시트와; 상기 제 6 그린시트 상부에 적층된 제 7 그린시트로 구성되고, 상기 하나의 인덕터 패턴의 일단은 상기 제 2 그린시트의 하부전극과 전기적으로 연결되고, 타단은 상기 제 5 그린시트의 하부전극과 전기적으로 연결되며, 상기 다른 하나의 인덕터 패턴의 일단은 상기 제 3 그린시트의 상부전극과 전기적으로 연결되고, 타단은 상기 제 6 그린시트의 상부전극과 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 적층형 발룬 트랜스포머의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 5 단계에서, 상기 입력단자는 상기 제 2 그린시트의 하부전극과 연결된 하나의 인덕터 패턴에 연결되고, 상기 하나의 출력단자는 상기 제 5 그린시트의 하부전극에 연결되고, 상기 다른 하나의 출력단자는 상기 제 3 그린시트의 상부전극에 연결되는 것을 특징으로 하는 적층형 발룬 트랜스포머의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 5 단계에서, 상기 입력단자는 상기 제 2 그린시트의 하부전극과 연결된 하나의 인덕터 패턴에 연결되고, 상기 하나의 출력단자는 상기 제 5 그린시트의 하부전극에 연결되고, 상기 다른 하나의 출력단자는 상기 제 3 그린시트의 상부전극에 연결되는 것을 특징으로 하는 적층형 발룬 트랜스포머의 제조 방법
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