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압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서에 있어서,실리콘 기판 상부에 형성된 실리콘 질화막 칸티레버;상기 실리콘 질화막 칸티레버 상부에 형성된 실리콘 산화막;상기 실리콘 산화막 상부에 소정의 크기로 형성된 하부 전극;상기 하부 전극 상부에 압전 구동을 위해 형성된 압전 구동층;상기 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동층 일부 영역 상부에 상하부 전극간 절연을 위해 형성된 절연층;상기 절연층의 상부 및 상기 압전 구동층의 상부에 형성된 상부 전극; 상기 상부 전극 상부에 형성되며 감지 대상물질을 감지하는 감지층; 상기 상부 전극과 하부 전극에 소자의 구동을 위한 전계를 인가하기 위해 형성된 전극 라인; 상기 감지층의 공진주파수 대역의 구동을 위한 오실레이터;상기 오실레이터의 공진주파수를 측정하는 주파수 카운터; 및상기 감지층으로부터 감지된 신호를 모니터링하기 위한 디스플레이 장치를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서
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제 1항에 있어서, 상기 실리콘 기판 하부에 형성된 하부 실리콘 질화막을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서
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제 1항에 있어서, 상기 하부 전극과 상기 실리콘 산화막 사이에 형성된 실리콘 기판과의 접합력을 향상하기 위한 접합층을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서
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제 5항에 있어서, 상기 접합층은 탄탈륨 또는 티타늄임을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서
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제 1항에 있어서, 상기 절연층은 폴리이미드임을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서
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제 1항에 있어서, 상기 감지층은 벤젠류 물질을 감지하는 폴리디메틸실록산 또는 알콜류 물질을 감지하는 폴리메틸메타크릴레이트임을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서
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압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제작 방법에 있어서, (a) 실리콘 기판 상부 및 하부에 상부 및 하부 실리콘 질화막을 증착하는 단계; (b) 상기 실리콘 질화막 상부에 실리콘 산화막을 증착하는 단계; (c) 상기 실리콘 산화막 상부에 소정 크기의 하부 전극을 형성하는 단계; (d) 상기 하부 전극 상부에 상기 하부 전극보다 작은 크기의 압전 구동층을 형성하는 단계; (e) 상기 형성된 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동층 일부 영역 상부에 상하부 전극간 절연을 위한 절연층을 형성하는 단계; (f) 상기 절연층의 상부 및 상기 압전 구동층의 상부에 상부 전극을 형성하는 단계; (g) 상기 하부 실리콘 질화막의 일부를 제거하는 단계; 및 (h) 상기 (g) 단계로 노출된 실리콘 기판을 식각하는 단계 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제작 방법
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제 9항에 있어서, 상기 (h) 단계 후, 감지 대상물질을 감지하기 위한 감지층을 형성하는 (i) 단계를 더 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제작 방법
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제 10항에 있어서, 상기 (i) 단계는 고분자 물질을 포함한 용액을 이용해 소자 위에 스핀 코팅 또는 딥 코팅하여 형성하는 것을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제작 방법
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제 10항에 있어서, 상기 감지층은 벤젠류 물질을 감지하는 폴리디메틸실록산 또는 알콜류 물질을 감지하는 폴리메틸메타크릴레이트임을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서
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제 9항에 있어서, 상기 (c) 단계의 하부 전극을 형성하기 전에 접합력을 향상하기 위한 접합층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제작 방법
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제 13항에 있어서, 상기 접합층은 탄탈륨 또는 티타늄임을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제작 방법
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제 9항에 있어서, 상기 (d) 단계는 졸-겔법을 이용하여 압전 구동 물질을 증착한 후 패터닝하는 것을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제작 방법
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제 9항에 있어서, 상기 절연층은 폴리이미드임을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서
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제 9항에 있어서, 상기 절연층은 폴리이미드임을 특징으로 하는 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서
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