| 요약 |
본 발명은 3 자유도 미소변위 구동장치에 관한 것으로, 이 3 자유도 미소변위 구동장치(1)는 압전세라믹으로 이루어진 제1 미소이동수단(2)과 마그네트로 이루어진 제1 작동매체(3)와 팬 구동 회전판(4) 및 팬 구동 베이스(5)로 이루어진 팬 운동부(6)와, 압전세라믹으로 이루어진 제2 미소이동수단(7)과 마그네트로 이루어진 제2 작동매체(8)와 틸트 구동 회전판(9) 및 틸트 구동 베이스(10)로 이루어진 틸트 운동부(11)와, 직선 구동 지그(12)와 압전세라믹으로 이루어진 제3 미소이동수단(13)과 마그네트로 이루어진 제3 작동매체(14) 및 직선 구동 샤프트(15)로 이루어진 직선 운동부(16)를 포함하여 구성된 것으로, 상기 3 자유도 미소변위 구동장치는 일련의 구동장치들이 상호간에 연동되게 연결설치됨으로써 백래시를 감소시키고, 이에 따라 나노미터 정도로 정밀하게 3 자유도 구동을 수행할 수 있으며, 상기 구동원이 압전세라믹으로 이루어져 장치의 정밀한 구동이 가능하고, 압전세라믹을 통한 구동장치의 연속구동으로 보다 넓은 작업공간을 확보할 수 있는 것이다. 3 자유도, 미소, 변위, 팬, 틸트, 직선, 압전세라믹, 마그네트
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