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기판 상부에 하부 클래드층을 형성하는 제 1 단계와; 상기 하부 클래드층 상부에 광 도파로 형상의 개구를 갖는 형틀판을 올려놓고, 상기 형틀판의 개구에 광도파로용 물질을 채우는 제 2 단계와; 상기 형틀판의 개구에 채워진 광도파로용 물질을 경화시키는 제 3 단계와; 상기 형틀판을 제거하여 상기 하부 클래드층 상부에 광도파로를 형성하고, 상기 광도파로 및 상기 하부 클래드층 상부에 상부 클래드층을 형성하는 제 4 단계로 구성된 광도파로 소자 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 단계에서, 상기 형틀판은 두 개 이상이고, 각각의 형틀판들에 형성된 개구들이 연통되도록, 형들판들을 기판 상부에 일렬로 배열시켜 올려놓는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 상부 클래드층 및 하부 클래드층은, 클래드층 물질을 스핀 코팅하고, 하드 베이킹하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 형틀판의 개구에 광도파로용 물질을 채우는 것은, 내부의 중공부에 광도파로용 물질이 내장되어 있고, 상기 중공부와 연통되는 개방부가 일측에 형성된 광도파로 물질 공급기의 개방부를 상기 형틀판의 상부 일 영역에 접촉시킨 후, 상기 광도파로 물질 공급기를 형틀판의 상부 타 영역까지 이동시켜 상기 광도파로 물질 공급기의 개방부로 빠져나오는 광도파로용 물질을 형틀판의 개구에 채우는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 광도파로 물질 공급기는, 내부의 중공부에 광도파로 물질이 내장되어 있고, 상기 광도파로 물질이 빠져나오는 개방부가 일측에 형성되어 있는 광도파로 물질 공급 용기와; 상기 광도파로 물질 공급 용기의 개방부 하부면로부터 일부가 돌출되어 상기 광도파로 물질 공급 용기 하부에 장착되어 있고, 상기 광도파로 물질 공급 용기에서 빠져 나오는 광도파로 물질을 가이드할 수 있는 금속판으로 구성된 것을 특징으로 하는 광도파로 소자 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 광도파로 물질 공급 용기의 개방부로부터 돌출된 금속판 영역은, 경사져 있는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자 제조 방법
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 형틀판은, 실리콘, 실리카, 폴리머와 금속 중 어느 하나로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제 4 단계에서 형성된 광도파로의 두께는, 상기 제 2 단계의 형틀판 두께에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 광도파로 소자 제조 방법
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