| 요약 |
본 발명은 미소변위 회전구동장치에 관한 것으로, 이 미소변위 회전구동장치(1)는 장치의 하부를 이루는 베이스와, 이 베이스의 상부에 축과 베어링을 매개로 결합되어 회전가능하도록 설치된 회전판과, 상기 베이스의 상부면에 고정됨과 아울러 상기 회전판의 하면에 접촉설치되어 외부 전압에 따라 회전판의 축과 직각된 방향으로 전후진 작동함으로써 회전판을 회전시키는 미소이동수단 및, 상기 회전판의 상부 중앙에 수직방향으로 설치되어 회전판이 상기 미소이동수단에 접촉되도록 가압하는 압착부재로 이루어진 구조이다.따라서, 작은 전압만으로도 큰 미는 힘을 얻을 수 있는 다수의 미소이동수단을 구동원으로 회전구동장치를 구성함으로써 바이오 물질 조작 및 광부품 제조 공정에서 필요성이 증대되고 있는 초정밀 조작장치에 미소변위 회전구동장치를 사용할 수 있다.또한, 상기 미소변위 회전구동장치를 통해 나노미터 정도로 정밀하게 구동을 수행할 수 있고, 상기 구동원이 압전세라믹으로 이루어져 장치의 정밀한 회전구동이 가능하며, 장치의 연속구동으로 작동범위가 커지게 되는 것이다.미소, 변위, 회전구동, 압전세라믹
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