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마이크로 그립퍼 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015145240
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 그립퍼(Gripper) 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 지지부와; 상기 지지부에 연장되어 있고, 구동력을 전달받아 대상물을 잡을 수 있으며, 상호 이격되어 있는 한 쌍의 그립(Grip)부와; 상기 대상물을 잡을 때 접촉되는 상기 한 쌍의 그립부 각각의 면에 형성되어 있고, 저항값을 갖는 한 쌍의 편들을 포함하여 구성된다. 따라서, 본 발명은 대상물의 그립력(Gripping force)을 감지할 수 있는 힘센서를 그립부에 구비시켜 대상물을 보다 정밀하게 잡을 수 있는 효과가 있다.그립퍼, 금속편, 힘센서, 저항
Int. CL B25J 15/08 (2006.01)
CPC B25J 7/00(2013.01) B25J 7/00(2013.01) B25J 7/00(2013.01) B25J 7/00(2013.01) B25J 7/00(2013.01)
출원번호/일자 1020050046226 (2005.05.31)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0611174-0000 (2006.08.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20060810) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.05.31)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김건년 대한민국 경기도 오산시
2 박준식 대한민국 경기도 군포시
3 문찬우 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2005-0289313-05
2 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2006.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2006-0262998-17
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2006.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2006-0263438-39
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0306089-97
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.07.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0526237-16
6 의견서
Written Opinion		 2006.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0526212-75
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0447668-30
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
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번호 청구항
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대상물을 잡을 수 있는 그립(Grip)부를 형성하기 위한 막이 상부에 형성된 지지판을 준비하는 단계와;상기 막을 관통하고, 상호 이격되어 있는 한 쌍의 캐비티(Cavity)를 형성하는 단계와;상기 한 쌍의 캐비티 각각의 내부에 충진되어 상기 막 상부로 연장되며, 저항값을 갖는 한 쌍의 금속편을 형성하는 단계와;상기 한 쌍의 금속편 각각에 전기적으로 연결되는 전극라인을 상기 막 상부에 형성하는 단계와; 상기 한 쌍의 금속편 사이 막 영역 및 상기 전극라인 각각으로부터 이격된 막 영역을 상기 지지판 상부로부터 제거하여, 금속편과 전극이 각각 구비되어 있고, 상호 이격되어 있는 한 쌍의 그립들을 상기 지지판 상부에 형성하는 단계를 포함하여 구성된 마이크로 그립퍼의 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 지지판은, 제 1 실리콘층,절연막과 제 2 실리콘층이 순차적으로 적층되어 이루어진 SOI기판의 제 1 실리콘층과 절연막이고, 상기 그립부를 형성하기 위한 막은, 제 2 실리콘층인 것을 특징으로 하는 마이크로 그립퍼의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.