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상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈이 형성되어 있고, 그 홈의 양단이 경사져 있는 하부기판과;상기 하부기판의 홈 일 경사진 끝단에 광을 조사하는 광원과;상기 하부기판의 홈 타 경사진 끝단에 반사된 광을 수광하는 광검출기와;상호 이격된 한 쌍의 관통홀들이 형성되어 있고, 상기 한 쌍의 관통홀들이 상기 하부 기판의 홈과 연통되도록, 상기 하부기판 상부에 접착되어 있는 상부기판을 포함하여 구성된 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터
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제 1 항에 있어서,상기 홈은,상호 이격되어 평행한 제 1 내지 제 3 수평형 홈과; 상기 제 1 수평형 홈과 제 2 수평형 홈 일단에 수직방향으로 연결된 제 1 수직형 홈과; 상기 제 2 수평형 홈 타단과 제 3 수평형 홈에 수직방향으로 연결된 제 2 수직형 홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터
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제 2 항에 있어서,상기 광원이 장착된 영역과 반대 방향의 제 1 수평형 홈의 경사진 끝단 반대편 끝단에 상기 광원에서 출사된 광을 반사시키는 제 1 반사면이 수직으로 형성되어 있고, 상기 제 2 수평형 홈의 끝단에 상기 제 1 반사면에서 반사된 광을 반사시키는 제 2 반사면이 수직으로 형성되어 있고, 상기 제 2 수평형 홈의 끝단과 반대 방향의 끝단에 상기 제 2 반사면에서 반사된 광을 반사시키는 제 3 반사면이 수직으로 형성되어 있고, 상기 제 3 수평형의 끝단에 상기 제 3 반사면에서 반사된 광을 광 검출기로 반사시키는 제 4 반사면이 수직으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터
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4
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하부 기판의 홈 내부와 상부 기판 하부에,반사막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터
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제 4 항에 있어서,상기 반사막은,Au막인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광원과 광검출기가 장착되어 있는 홈 영역과 인접되고 상호 이격되어 있으며, 광이 투과할 수 있는 한 쌍의 충진제가 상기 홈에 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터
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7
제 6 항에 있어서,상기 충진제는 폴리머 수지인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광원은,자외선, 가시광선과 적외선 중 어느 하나를 방출할 수 있는 광원인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 상부기판은 실리콘 기판으로, 상기 하부기판은 파이렉스 유리 기판 또는 PDMS인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터
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상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈이 형성되어 있고, 상기 홈의 양단이 경사져 있는 제 1 기판을 준비하는 단계와;상기 절곡되어진 홈 내부면에 반사막을 형성하는 단계와;상호 이격된 한 쌍의 관통홀들이 형성된 제 2 기판을 준비하는 단계와;상기 한 쌍의 관통홀들이 상기 절곡되어진 홈과 연통되도록, 상기 제 2 기판을 제 1 기판에 접착하는 단계를 포함하여 구성된 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제 1 기판은 실리콘 기판으로, 상기 제 2 기판은 파이렉스 유리 기판 또는 PDMS인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제 1 기판을 준비하는 단계는,금속분말이 포함된 수지로 상부에 적어도 한번 이상 절곡되어진 홈을 갖는 제 1 기판을 성형하는 단계와;상기 제 1 기판에서 수지 성분을 제거하는 단계와;상기 제 1 기판을 소결하는 단계와;상기 제 1 기판이 소결된 후, 상기 홈 일 끝단에 광원을 장착하고, 상기 홈 타 끝단에 광검출기를 장착하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 금속분말은,W분말, Cu분말과 이들의 혼합분말 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 제 1 기판에서 수지 성분을 제거하는 단계는,상기 제 1 기판을 400 ~ 600℃ 온도에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법
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제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 홈은,상호 이격되어 평행한 제 1 내지 제 3 수평형 홈과; 상기 제 1 수평형 홈과 제 2 수평형 홈 일단에 수직방향으로 연결된 제 1 수직형 홈과; 상기 제 2 수평형 홈 타단과 제 3 수평형 홈에 수직방향으로 연결된 제 2 수직형 홈으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 광원이 장착된 영역과 반대 방향의 제 1 수평형 홈의 경사진 끝단의 반대편 끝단에 상기 광원에서 출사된 광을 반사시키는 제 1 반사면이 수직하게 형성되어 있고, 상기 제 2 수평형 홈의 끝단에 상기 제 1 반사면에서 반사된 광을 반사시키는 제 2 반사면이 수직하게 형성되어 있고, 상기 제 2 수평형 홈의 끝단과 반대 방향의 끝단에 상기 제 2 반사면에서 반사된 광을 반사시키는 제 3 반사면이 수직하게 형성되어 있고, 상기 제 3 수평형의 끝단에 상기 제 3 반사면에서 반사된 광을 광 검출기로 반사시키는 제 4 반사면이 수직하게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 감지용 마이크로 스펙트로미터의 제조 방법
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