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적층된 다수의 압전체 시트; 상기 다수의 압전체 시트의 좌우 양측에 형성되어 상기 압전체 시트의 적층 방향으로 진동하는 클램핑부; 및 상기 다수의 압전체 시트의 중간부에 형성되어 상기 압전체 시트의 길이 방향으로 진동하는 변위 확대/축소부를 포함하여 이루어진 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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제 1 항에 있어서, 상기 클램핑부는,상기 다수의 압전체 시트 각각의 양측에 형성된 제1전극판과 제2전극판으로 이루어진 것을 특징으로 하는 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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제 2 항에 있어서, 상기 제1전극판과 제2전극판은,층마다 교대로 위치가 바뀌어가며 형성된 것을 특징으로 하는 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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제 1 항에 있어서, 상기 변위 확대/축소부는,상기 제1전극판과 제2전극판 사이에 상호 이격된 제1전극 및 제2전극을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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제 4 항에 있어서, 상기 제1전극과 제2전극은,복수개가 교대로 배치된 것을 특징으로 하는 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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제 4 항에 있어서, 상기 제1전극과 제2전극은,상호 엇갈리게 배치된 것을 특징으로 하는 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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제 4 항에 있어서, 상기 제1전극과 제2전극은, 복수개가 교대로 배치되고, 그 복수의 제1전극 및 제2전극은 상호 이격되어 엇갈리게 배치된 것을 특징으로 하는 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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제 4 항에 있어서, 상기 제1전극과 제2전극은,각기 바(bar)형상을 가지는 것을 특징으로 하는 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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제 4 항에 있어서, 상기 제1전극은어느 하나의 압전체 시트의 가장자리 일단에 설치된 전극패드; 및그의 끝단부가 연장된 전극몸체를 가지고,상기 제2전극은상기 제1전극의 전극패드와 상호 엇갈리게 바라보이는 가장자리 타단에 이격 설치된 전극패드; 및상기 그의 끝단부가 상기 제1전극의 전극몸체와 대향하는 위치까지 연장된 전극몸체를 가지는 것을 특징으로 하는 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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10
제 9 항에 있어서, 상기 제1, 2전극의 전극몸체는 상호 이격된 두 개의 평행선 내에 대향하게 나란히 배치되고, 상기 제1, 2전극의 전극패드는상기 제1전극의 전극몸체의 일단과 제2전극의 전극몸체의 타단에 각기 연장된 것을 특징으로 하는 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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11
제 9 항에 있어서, 상기 각 전극몸체의 폭은 해당 전극패드의 폭보다 넓은 것을 특징으로 하는 인치웜 액츄에이터용 압전소자
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