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복수개의 용액들이 주입되는 주입구홈들과; 상기 주입구홈들에 각각 연결되어 용액들을 펌핑(Pumping)하는 마이크로 압전 펌프들과; 상기 마이크로 압전 펌프들과 연결되어 상기 마이크로 압전 펌프들에서 펌핑된 용액들을 혼합하고 반응시키는 반응채널홈과; 상기 반응채널홈에서 반응된 용액이 흐르고, 이 흐르는 용액에 광이 통과되는 측정채널홈과; 상기 측정채널홈에서 통과된 용액을 배출시키는 배출구홈과; 상기 측정채널홈 양단 각각에 형성된 광섬유 삽입홈들이 상부에 형성되어 있고, 상기 광섬유 삽입홈들 각각에 삽입되어 고정되어 있는 제 1과 2 광섬유를 갖는 하부기판과,상기 하부기판 상부에 본딩되어 있으며, 상기 주입구홈들 및 배출구홈과 대응되는 관통홀들이 형성되어 있는 상부기판을 포함하여 구성되며,상기 마이크로 압전 펌프는, 상기 하부기판에 형성되며, 일측이 주입구홈에 연결되고, 타측이 반응채널홈에 연결된 용액 저장홈과; 상기 용액 저장홈 상부에 있는 상부기판 영역과; 상기 상부기판 영역 상부에 형성된 압전막으로 구성되고,상기 용액 저장홈 일측은 상기 주입구홈들과 채널홈으로 연결되어 있고, 타측은 상기 반응채널홈과 채널홈으로 연결되어 있고,상기 주입구홈에서 용액 저장홈으로 연결되는 채널홈 영역은 채널홈의 양측이 돌출되어 채널홈 폭이 좁아지는 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 분석 소자
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제 1 항에 있어서,상기 압전막은,압전체가 상기 상부기판 영역 상부에 본딩된 것을 특징으로 하는 마이크로 분석 소자
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복수개의 용액들이 주입되는 주입구홈들과; 상기 주입구홈들에 각각 연결되어 용액들을 펌핑(Pumping)하는 마이크로 압전 펌프들과; 상기 마이크로 압전 펌프들과 연결되어 상기 마이크로 압전 펌프들에서 펌핑된 용액들을 혼합하고 반응시키는 반응채널홈과; 상기 반응채널홈에서 반응된 용액이 흐르고, 이 흐르는 용액에 광이 통과되는 측정채널홈과; 상기 측정채널홈에서 통과된 용액을 배출시키는 배출구홈과; 상기 측정채널홈 양단 각각에 형성된 광섬유 삽입홈들이 상부에 형성되어 있고, 상기 광섬유 삽입홈들 각각에 삽입되어 고정되어 있는 제 1과 2 광섬유를 갖는 하부기판과,상기 하부기판 상부에 본딩되어 있으며, 상기 주입구홈들 및 배출구홈과 대응되는 관통홀들이 형성되어 있는 상부기판을 포함하여 구성되며,상기 마이크로 압전 펌프는, 상기 하부기판에 형성되며, 일측이 주입구홈에 연결되고, 타측이 반응채널홈에 연결된 용액 저장홈과; 상기 용액 저장홈 상부에 있는 상부기판 영역과; 상기 상부기판 영역 상부에 형성된 압전막으로 구성되고,상기 용액 저장홈 일측은 상기 주입구홈들과 채널홈으로 연결되어 있고, 타측은 상기 반응채널홈과 채널홈으로 연결되어 있고,상기 주입구홈에서 용액 저장홈으로 연결되는 채널홈 영역의 양측에 볼록하게 돌출되고, 상호 대향되는 돌출부들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 분석 소자
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일측이 개방된 삽입홈이 형성되어 있고, 이 홈 내측 양측단에 측면홈이 각각 형성되어 있고, 각각의 측면홈에 볼렌즈가 장착되어 있고, 상기 볼렌즈 각각과 광학적으로 정렬된 광원 및 광 검출기가 구비되어 있는 패키지 바디와,상기 패키지 바디의 삽입홈에 삽입되어 고정된 마이크로 분석 소자를 포함하여 구성되며, 상기 마이크로 분석소자는,복수개의 용액들이 주입되는 주입구홈들과; 상기 주입구홈들에 각각 연결되어 용액들을 펌핑(Pumping)하는 마이크로 압전 펌프들과; 상기 마이크로 압전 펌프들과 연결되어 상기 마이크로 압전 펌프들에서 펌핑된 용액들을 혼합하고 반응시키는 반응채널홈과; 상기 반응채널홈에서 반응된 용액이 흐르고, 이 흐르는 용액에 광이 통과되는 측정채널홈과; 상기 측정채널홈에서 통과된 용액을 배출시키는 배출구홈과; 상기 측정채널홈 양단 각각에 형성된 광섬유 삽입홈들이 상부에 형성되어 있고, 상기 광섬유 삽입홈들 각각에 삽입되어 고정되어 있는 제 1과 2 광섬유를 갖는 하부기판과, 상기 하부기판 상부에 본딩되어 있으며, 상기 주입구홈들 및 배출구홈과 대응되는 관통홀들이 형성되어 있는 상부기판을 포함하여 구성되고,상기 마이크로 분석 소자의 제 1과 2 광섬유가 상기 볼렌즈와 광학적으로 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 분석 소자 패키지
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제 8 항에 있어서,상기 마이크로 분석 소자의 하부기판 하부면에는 상호 이격된 스트라이프 형상의 한 쌍의 돌출부가 형성되어 있고, 상기 패키지 바디의 삽입홈 바닥면에는 상기 한 쌍의 돌출부를 삽입시킬 수 있는 한 쌍의 돌출부 삽입홈이 형성되어 있고,상기 돌출부가 상기 돌출부 삽입홈에 삽입되어, 상기 마이크로 분석 소자가 상기 패키지 바디의 삽입홈에 삽입되어 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 분석 소자 패키지
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제 9 항에 있어서,상기 마이크로 분석 소자의 하부기판 하부면에 형성된 돌출부는 하부의 폭이 상부의 폭보다 큰 형상으로 형성되어 있고, 상기 패키지 바디의 삽입홈 바닥면에 형성된 돌출부 삽입홈은 상부의 폭이 하부의 폭보다 작은 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 분석 소자 패키지
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제 10 항에 있어서,상기 돌출부 단면과 상기 돌출부 삽입홈의 단면은 닯은꼴인 것을 특징으로 하는 마이크로 분석 소자 패키지
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제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로 압전 펌프는, 상기 하부기판에 형성되며, 일측이 주입구홈에 연결되고, 타측이 반응채널홈에 연결된 용액 저장홈과; 상기 용액 저장홈 상부에 있는 상부기판 영역과; 상기 상부기판 영역 상부에 형성된 압전막으로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 분석 소자 패키지
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일측이 개방된 삽입홈이 형성되어 있고, 이 홈 내측 양측단에 측면홈이 각각 형성되어 있고, 각각의 측면홈에 볼렌즈가 장착되어 있고, 상기 볼렌즈 각각과 광학적으로 정렬된 광원 및 광 검출기가 구비되어 있는 패키지 바디를 준비하는 단계와;복수개의 용액들이 주입되는 주입구홈들과; 상기 주입구홈들에 각각 연결되어 용액들을 펌핑(Pumping)하는 마이크로 압전 펌프들과; 상기 마이크로 압전 펌프들과 연결되어 상기 마이크로 압전 펌프들에서 펌핑된 용액들을 혼합하고 반응시키는 반응채널홈과; 상기 반응채널홈에서 반응된 용액이 흐르고, 이 흐르는 용액에 광이 통과되는 측정채널홈과; 상기 측정채널홈에서 통과된 용액을 배출시키는 배출구홈과; 상기 측정채널홈 양단 각각에 형성된 광섬유 삽입홈들이 상부에 형성되어 있고, 상기 광섬유 삽입홈들 각각에 삽입되어 고정되어 있는 제 1과 2 광섬유를 갖는 하부기판과, 상기 하부기판 상부에 본딩되어 있으며, 상기 주입구홈들 및 배출구홈과 대응되는 관통홀들이 형성되어 있는 상부기판을 포함하여 구성된 마이크로 분석 소자를 준비하는 단계와;상기 마이크로 분석 소자를 제 1과 2 광섬유가 상기 볼렌즈와 광학적으로 정렬되도록, 패키지 바디의 삽입홈에 삽입시키는 단계를 포함하여 구성된 마이크로 분석 소자 패키지 제조 방법
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제 13 항에 있어서,상기 마이크로 분석 소자의 하부기판 하부면에는 상호 이격된 스트라이프 형상의 한 쌍의 돌출부가 형성되어 있고, 상기 패키지 바디의 삽입홈 바닥면에는 상기 한 쌍의 돌출부를 삽입시킬 수 있는 한 쌍의 돌출부 삽입홈이 형성되어 있고,상기 돌출부가 상기 돌출부 삽입홈에 삽입되어, 상기 마이크로 분석 소자가 상기 패키지 바디의 삽입홈에 삽입되어 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 분석 소자 패키지 제조 방법
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제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,상기 마이크로 압전 펌프는, 상기 하부기판에 형성되며, 일측이 주입구홈에 연결되고, 타측이 반응채널홈에 연결된 용액 저장홈과; 상기 용액 저장홈 상부에 있는 상부기판 영역과; 상기 상부기판 영역 상부에 형성된 압전막으로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 분석 소자 패키지 제조 방법
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