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간격(d1)을 가지고 이격되어 마주보고 있는 제 1과 2 구조물로 이루어져 있고, 각 구조물 내부에 유체가 유통할 수 있는 관통홀이 각각 형성되어 있고, 이 관통홀이 상기 제 1과 2 구조물의 마주보는 면 각각에 노출되어 있는 마이크로 그리퍼 조와; 상기 마이크로 그리퍼 조의 제 1과 2 구조물 간격이 좁아져 물체를 잡을 수 있도록, 상기 마이크로 그리퍼 조의 제 1과 2 구조물에 연결되어 힘을 전달하는 힘 전달부와; 상기 힘 전달부로 힘을 제공하는 엑츄에이터(Actuator)와; 상기 제 1과 2 구조물 면에 흡착되는 물체를 이탈시키도록 상기 마이크로 그리퍼 조의 관통홀로 유체를 공급하거나 또는, 상기 제 1과 2 구조물이 물체를 견고히 잡을 수 있도록 상기 마이크로 그리퍼 조의 관통홀에서 유체를 흡입하는 유체 공급 및 흡입부를 포함하여 구성된 마이크로 그리퍼
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제 1 항에 있어서,상기 힘 전달부는,마이크로 그리퍼 조의 제 1과 2 구조물 각각의 끝단에 절곡되어 연결되고, 1번 절곡된 제 1 연결부들과; 상기 제 1 연결부들 각각의 끝단에 일부 영역이 연결되어 있고, 3번 절곡되어 있는 제 2 연결부들과; 상기 제 2 연결부들 각각의 일끝단에 연결된 고정부와; 상기 제 2 연결부들 각각의 타끝단에 연결된 전달부로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 그리퍼
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제 2 항에 있어서,상기 힘전달부의 고정부 하부에는 유체 공급 및 흡입부와 연결된 홈이 형성되어 있고;상기 홈은 제 1과 2 연결부들 및 마이크로 그리퍼 조의 제 1과 2 구조물 내부에 형성된 관통홀과 연통되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 그리퍼
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제 3 항에 있어서,상기 힘전달부의 고정부는 구조물에 고정되어 있으며;상기 구조물은 상부에 홈이 형성되어 있고, 이 홈 내부에 엑츄에이터가 장착되어 있고, 상기 홈과 가장자리 사이의 상부 영역에 돌출부가 형성되어 있고, 상기 돌출부에 관통홀이 형성되어 있으며;상기 힘전달부의 고정부 하부의 홈이 상기 돌출부의 관통홀을 통하여 유체 공급 및 흡입부와 연결되도록, 상기 힘전달부의 고정부가 상기 돌출부에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 그리퍼
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간격(d1)을 가지고 이격되어 마주보고 있는 제 1과 2 구조물로 이루어져 있고, 각 구조물 내부에 유체가 유통할 수 있는 관통홀이 각각 형성되어 있고, 이 관통홀이 상기 제 1과 2 구조물의 마주보는 면 각각에 노출되어 있는 마이크로 그리퍼 조를 갖는 마이크로 그리퍼를 준비하는 단계와;상기 마이크로 그리퍼 조의 제 1과 2 구조물의 사이에 마이크로 물체를 위치시키는 단계와;상기 마이크로 그리퍼 조의 제 1과 2 구조물 사이 간격을 좁혀서, 상기 마이크로 물체를 잡는 단계와;상기 제 1과 2 구조물 사이 간격을 넓히면서 상기 마이크로 물체를 잡는 것을 해제하고, 상기 제 1과 2 구조물 각각의 관통홀로 유체를 공급하여, 상기 제 1과 2 구조물이 마주보는 면으로 유체를 배출시켜 상기 제 1과 2 구조물 중 어느 하나에 흡착된 마이크로 물체를 상기 제 1과 2 구조물로부터 이탈시키는 단계를 포함하여 구성된 마이크로 그리퍼의 구동 방법
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제 5 항에 있어서,상기 마이크로 그리퍼 조의 제 1과 2 구조물 사이 간격을 좁혀서, 상기 마이크로 물체를 잡는 단계는,상기 마이크로 그리퍼 조의 관통홀에서 유체를 흡입하는 공정이 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 그리퍼의 구동 방법
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 마이크로 그리퍼는,상기 마이크로 그리퍼 조의 제 1과 2 구조물 간격이 좁아져 물체를 잡을 수 있도록, 상기 마이크로 그리퍼 조의 제 1과 2 구조물에 연결되어 힘을 전달하는 힘 전달부와; 상기 힘 전달부로 힘을 제공하는 엑츄에이터(Actuator)와; 상기 제 1과 2 구조물 면에 흡착되는 물체를 이탈시키도록 상기 마이크로 그리퍼 조의 관통홀로 유체를 공급하거나 또는, 상기 제 1과 2 구조물이 물체를 견고히 잡을 수 있도록 상기 마이크로 그리퍼 조의 관통홀에서 유체를 흡입하는 유체 공급 및 흡입부를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 그리퍼의 구동 방법
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제 7 항에 있어서,상기 힘 전달부는,마이크로 그리퍼 조의 제 1과 2 구조물 각각의 끝단에 절곡되어 연결되고, 1번 절곡된 제 1 연결부들과; 상기 제 1 연결부들 각각의 끝단에 일부 영역이 연결되어 있고, 3번 절곡되어 있는 제 2 연결부들과; 상기 제 2 연결부들 각각의 일끝단에 연결된 고정부와; 상기 제 2 연결부들 각각의 타끝단에 연결된 전달부로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 그리퍼의 구동 방법
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