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기판과; 상기 기판 상부에 형성된 절연막과; 상기 절연막 상부에 형성된 감지 전극 및 히터 전극과; 상기 감지 전극 및 히터 전극을 감싸며, 상기 절연막 상부에 형성된 감지막과; 상기 감지막에 대응하는 상기 기판 영역에 형성되며, 상기 절연막 하부를 노출시키는 관통홀과; 상기 절연막에 접합되어 있고, 일측에서 타측으로 연결되어 있는 가스 유통 채널이 하부면에 형성되어 있고, 상기 가스 유통 채널에 연결되어 있는 제 1과 2 홈이 하부면에 형성되어 있고, 상기 제 1 홈 내부에 감지막이 위치되어 있는 커버용 기판과; 상기 제 2 홈에 대응되는 커버용 기판 상부면에 형성되어 있는 마이크로 펌프로 구성된 가스 센서
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제 2 항에 있어서,상기 마이크로 펌프는,하부전극, 압전체와 상부전극이 순차적으로 적층되어 형성된 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제 2 항에 있어서,상기 관통홀은,상기 절연막에 수직한 측벽을 갖는 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제 2 항에 있어서,상기 감지막은,복수개인 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제 2 항에 있어서,상기 제 2 홈과 제 1 홈에 연결되어 있는 가스 유통 채널은,상기 제 2 홈 방향에서 상기 제 1 홈 방향으로 채널 폭이 점점 넓어지는 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제 2 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판이고, 상기 절연막은 실리콘 산화막과 실리콘 질화막을 적층시킨 구조로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 센서
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기판 상부에 제 1 절연막과 제 2 절연막을 순차적으로 형성하는 단계와;상기 기판 상부에 감지 전극과 히터 전극으로 이루어진 단일 소자용 전극을 복수개 형성하는 단계와;상기 제 2 절연막 상부에 상기 단일 소자용 전극들을 각각 감싸는 복수개의 감지막을 형성하는 단계와;상기 복수개의 감지막 각각에 대응하는 개구가 형성된 마스크층을 상기 기판 하부에 형성하는 단계와;상기 마스크층으로 마스킹하여 상기 기판을 식각하여, 상기 제 1 절연막 하부가 노출되는 복수개의 관통홀을 상기 기판에 형성하는 단계와;상기 마스크층을 제거하는 단계와;접합되어 있고, 일측에서 타측으로 연결되어 있는 가스 유통 채널이 하부면에 형성되어 있고, 상기 가스 유통 채널에 연결되어 있는 제 1과 2 홈이 하부면에 형성되어 있고, 상기 제 2 홈에 대응되는 커버용 기판 상부면에 마이크로 펌프가 형성되어 있는 커버용 기판을 준비하는 단계와; 상기 복수개의 감지막이 상기 커버용 기판의 상기 제 1 홈 내부에 위치되도록, 상기 커버용 기판을 상기 제 2 절연막 상부에 접합시키는 단계로 이루어진 가스 센서의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 마이크로 펌프는,하부전극, 압전체와 상부전극이 순차적으로 적층되어 형성된 것을 특징으로 하는 가스 센서의 제조 방법
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제 8 항 또는 제 10 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판이고, 상기 제 1 절연막은 실리콘 산화막이고, 상기 제 2 절연막은 실리콘 질화막인 것을 특징으로 하는 가스 센서의 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 실리콘 기판을 식각하는 것은,반응성 이온 식각(Reactive Ion Etching, RIE) 기술을 이용하여 상기 실리콘 기판의 배면을 상기 실리콘 산화막이 있는 곳까지 수직으로 식각하는 것을 특징으로 하는 가스 센서의 제조 방법
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제 8 항 또는 제 10 항에 있어서,상기 제 2 홈과 제 1 홈에 연결되어 있는 가스 유통 채널은,상기 제 2 홈 방향에서 상기 제 1 홈 방향으로 채널 폭이 점점 넓어지는 것을 특징으로 하는 가스 센서의 제조 방법
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