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기판으로부터 이격되어 형성된 히터배선;
상기 히터배선의 양 끝단에 전압을 인가하는 전극패드;
상기 히터배선을 지지하기 위해 형성된 지지기둥; 및
상기 히터배선 및 전극패드를 포함한 상기 기판 전면에 형성된 금속층
을 포함하는 마이크로 히터
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2
제 1항에 있어서,
상기 히터배선은
상기 기판과 전기적으로 절연시키기 위한 절연막; 및
상기 절연막상에 증착되고, 전류를 흐르게 하기 위한 금속층
을 포함하는 마이크로 히터
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3
제 2항에 있어서,
상기 금속층은 열저항체층이고, 니켈크롬, 백금, 산화주석안티몬 합금 및 폴리실리콘 중 선택되는 하나 이상의 물질로 이루어지는 마이크로 히터
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4
제 3항에 있어서,
상기 금속층 상에는 튜브 또는 파티클 형태의 탄소 소재층, 금속층 및 절연제층 중 선택되는 어느 하나의 물질이 더 포함되는 마이크로 히터
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5
제 1항에 있어서,
상기 히터배선은 민더 타입 또는 그리드 타입으로 형성하는 마이크로 히터
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6
제 1항에 있어서,
상기 히터배선의 패턴 굵기는 일정하지 않은 마이크로 히터
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삭제
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기판상에 절연막을 증착한 후, 사진식각 공정을 이용하여 히터배선과 전극패드를 패터닝하는 제1단계;
패터닝된 상기 기판의 전면을 식각하여 컬럼구조물을 형성하는 제2단계;
상기 컬럼구조물을 식각하여 지지기둥과 전극패드를 제외한 부분이 상기 기판으로부터 릴리즈된 구조물을 형성하는 제3단계; 및
릴리즈된 상기 구조물을 포함한 상기 기판의 전면에 금속층을 증착해 히터배선 및 전극패드를 형성하는 제4단계
를 포함하는 마이크로 히터의 제조방법
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9
제 8항에 있어서,
상기 제4단계 이전에, 상기 지지기둥에 열산화공정으로 열산화막을 형성하는 단계를 더 포함하는 마이크로 히터의 제조방법
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10
제 8항에 있어서,
상기 금속층은 기판 전면에 증착되어 히터배선에서 방출되는 열을 반사시키기 위한 반사층으로 작용하는 마이크로 히터의 제조방법
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제 8항에 있어서,
상기 제2단계의 식각은 깊은반응성 이온식각(DRIE)을 포함하는 건식 비등방식각을 이용하는 마이크로 히터의 제조방법
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13
제 8항에 있어서,
상기 제3단계의 식각은 KOH 또는 TMAH를 이용하는 습식 비등방식각인 마이크로 히터의 제조방법
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14
제 8항에 있어서,
상기 히터배선은 민더 타입 또는 그리드 타입으로 형성하는 마이크로 히터의 제조방법
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15
제 8항에 있어서,
상기 히터배선의 하부에 남아 있는 실리콘을 XeF2 또는 XeF2 + Ar을 이용한 등방성 식각으로 제거하는 마이크로 히터의 제조방법
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16
삭제
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17
제 8항에 있어서,
상기 전극패드는 외부 배선을 위한 와이어링을 위해 별도로 Au를 증착하는 단계를 더 포함하여 형성되는 마이크로 히터의 제조방법
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18
제 8항에 있어서,
상기 전극패드와 히터배선은 상부에 Au를 증착하는 단계; 및
상기 히터배선의 발열을 통해 히터배선 상부의 Au만 제거하여 저항구조를 형성시키는 단계를 더 포함하는 마이크로 히터의 제조방법
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19
제 8항에 있어서,
상기 금속층은 열저항체층이고, 니켈크롬, 백금, 산화주석안티몬 합금 및 폴리실리콘 중 선택되는 하나 이상의 물질로 이루어지는 마이크로 히터의 제조방법
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20
제 8항에 있어서,
릴리즈된 상기 구조물에 증착된 상기 금속층 상에는 튜브 또는 파티클 형태의 탄소 소재층, 금속층 및 절연제층 중 어느 하나를 더 포함하는 마이크로 히터의 제조방법
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21
제 8항에 있어서,
상기 히터배선의 열저항체의 발열로 인한 적외선 방사는 상기 기판 상부 또는 하부에 오목 반사경을 패키징해 설치하여 상부 또는 하부 중 일방으로만 이루어지는 마이크로 히터의 제조방법
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