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능동 소자 칩 내장형 기판 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015145486
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 능동 소자 칩 내장형 기판 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 능동 소자 칩을 감싸고 있는 제 1 폴리머의 열팽창계수가 능동 소자 칩의 열팽창계수와 동일하거나 낮기 때문에 열에 의하여 기판이 휘어지는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다. 또한, 본 발명은 능동 소자가 형성된 웨이퍼의 상부에 제 1 폴리머가 코팅되어 있어, 웨이퍼의 그라인딩 공정, 칩 다이싱 공정과 칩 실장 공정에서 칩의 손상을 방지할 수 있는 장점이 있다. 능동, 칩, 기판, 구리, 폴리머, 라미네이트
Int. CL H05K 3/40 (2006.01) H05K 1/18 (2006.01)
CPC H05K 1/186(2013.01) H05K 1/186(2013.01) H05K 1/186(2013.01) H05K 1/186(2013.01)
출원번호/일자 1020080054580 (2008.06.11)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0963199-0000 (2010.06.04)
공개번호/일자 10-2009-0128701 (2009.12.16) 문서열기
공고번호/일자 (20100614) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.06.11)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박세훈 대한민국 경기 성남시 분당구
2 이우성 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0416040-96
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.03.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0097640-25
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0203548-96
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.03.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0203553-14
5 등록결정서
Decision to grant
2010.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0232391-30
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부에 전극패드가 형성되어 있고, 상기 전극패드를 감싸며 상부에 제 1 폴리머가 코팅된 능동 소자 칩을 준비하는 단계와; 상기 능동 소자 칩을 캐리어에 접착하는 단계와; 상기 능동 소자 칩과 제 1 폴리머를 감싸며, 상기 캐리어 상부에 제 2 폴리머를 라미네이트하는 단계와; 상기 캐리어를 제거하고, 상기 제 2 폴리머 상부에 제 1 구리층을 형성하고, 상기 캐리어가 제거된 제 2 폴리머 하부 및 능동 소자 칩 하부에 제 2 구리층을 형성하는 단계와; 상기 능동 소자 칩의 전극패드를 노출시키는 제 1 비아와, 상기 제 1과 2 구리층 및 제 2 폴리머를 관통하는 제 2 비아를 형성하는 단계와; 상기 제 1과 2 비아에 도전성 물질을 충진하는 단계와; 상기 제 1과 2 구리층을 패터닝하는 단계로 구성되며, 상기 도전성 물질은 금속으로 도금 공정을 수행하여 형성하거나, 또는 전도성 페이스트를 상기 제 1과 2 비아 내부에 도포하여 충진하여 형성하는 것을 특징으로 하는 능동 소자 칩 내장형 기판의 제조 방법
2 2
상부에 전극패드가 형성되어 있고, 상기 전극패드를 감싸며 상부에 제 1 폴리머가 코팅된 능동 소자 칩을 준비하는 단계와; 상기 능동 소자 칩을 인쇄회로기판에 접착하는 단계와; 상기 능동 소자 칩과 제 1 폴리머를 감싸며, 상기 인쇠회로기판 상부에 제 2 폴리머를 라미네이트하는 단계와; 상기 제 2 폴리머 상부에 제 1 구리층을 형성하고, 상기 인쇄회로기판 하부에 제 2 구리층을 형성하는 단계와; 상기 능동 소자 칩의 전극패드를 노출시키는 제 1 비아와, 상기 제 1과 2 구리층 및 상기 인쇄회로기판을 관통하는 제 2 비아를 형성하는 단계와; 상기 제 1과 2 비아에 도전성 물질을 충진하는 단계와; 상기 제 1과 2 구리층을 패터닝하는 단계로 구성되며, 상기 도전성 물질은 금속으로 도금 공정을 수행하여 형성하거나, 또는 전도성 페이스트를 상기 제 1과 2 비아 내부에 도포하여 충진하여 형성하는 것을 특징으로 하는 능동 소자 칩 내장형 기판의 제조 방법
3 3
청구항 1 또는 2에 있어서, 상부에 전극패드가 형성되어 있고, 상기 전극패드를 감싸며 상부에 제 1 폴리머가 코팅된 능동 소자 칩을 준비하는 단계는, 복수개의 능동 소자가 형성되고, 상기 복수개의 능동 소자 각각의 상부에 전극패드가 형성된 웨이퍼의 상부에 제 1 폴리머를 코팅하는 단계와; 상기 웨이퍼의 하부를 그라인딩(Grinding)하는 단계와; 상기 그라인딩된 웨이퍼 및 상기 제 1 폴리머를 다이싱(Dicing)하여 낱개의 능동 소자 칩으로 분리하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 능동 소자 칩 내장형 기판의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 켐텍(주) 부품소재 기술 개발 사업 박막절연 소재 평가 및 fine pattern용 PCB구현 기술개발