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상부에 전극패드가 형성되어 있고, 상기 전극패드를 감싸며 상부에 제 1 폴리머가 코팅된 능동 소자 칩을 준비하는 단계와;
상기 능동 소자 칩을 캐리어에 접착하는 단계와;
상기 능동 소자 칩과 제 1 폴리머를 감싸며, 상기 캐리어 상부에 제 2 폴리머를 라미네이트하는 단계와;
상기 캐리어를 제거하고, 상기 제 2 폴리머 상부에 제 1 구리층을 형성하고, 상기 캐리어가 제거된 제 2 폴리머 하부 및 능동 소자 칩 하부에 제 2 구리층을 형성하는 단계와;
상기 능동 소자 칩의 전극패드를 노출시키는 제 1 비아와, 상기 제 1과 2 구리층 및 제 2 폴리머를 관통하는 제 2 비아를 형성하는 단계와;
상기 제 1과 2 비아에 도전성 물질을 충진하는 단계와;
상기 제 1과 2 구리층을 패터닝하는 단계로 구성되며,
상기 도전성 물질은 금속으로 도금 공정을 수행하여 형성하거나, 또는 전도성 페이스트를 상기 제 1과 2 비아 내부에 도포하여 충진하여 형성하는 것을 특징으로 하는 능동 소자 칩 내장형 기판의 제조 방법
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상부에 전극패드가 형성되어 있고, 상기 전극패드를 감싸며 상부에 제 1 폴리머가 코팅된 능동 소자 칩을 준비하는 단계와;
상기 능동 소자 칩을 인쇄회로기판에 접착하는 단계와;
상기 능동 소자 칩과 제 1 폴리머를 감싸며, 상기 인쇠회로기판 상부에 제 2 폴리머를 라미네이트하는 단계와;
상기 제 2 폴리머 상부에 제 1 구리층을 형성하고, 상기 인쇄회로기판 하부에 제 2 구리층을 형성하는 단계와;
상기 능동 소자 칩의 전극패드를 노출시키는 제 1 비아와, 상기 제 1과 2 구리층 및 상기 인쇄회로기판을 관통하는 제 2 비아를 형성하는 단계와;
상기 제 1과 2 비아에 도전성 물질을 충진하는 단계와;
상기 제 1과 2 구리층을 패터닝하는 단계로 구성되며,
상기 도전성 물질은 금속으로 도금 공정을 수행하여 형성하거나, 또는 전도성 페이스트를 상기 제 1과 2 비아 내부에 도포하여 충진하여 형성하는 것을 특징으로 하는 능동 소자 칩 내장형 기판의 제조 방법
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청구항 1 또는 2에 있어서,
상부에 전극패드가 형성되어 있고, 상기 전극패드를 감싸며 상부에 제 1 폴리머가 코팅된 능동 소자 칩을 준비하는 단계는,
복수개의 능동 소자가 형성되고, 상기 복수개의 능동 소자 각각의 상부에 전극패드가 형성된 웨이퍼의 상부에 제 1 폴리머를 코팅하는 단계와;
상기 웨이퍼의 하부를 그라인딩(Grinding)하는 단계와;
상기 그라인딩된 웨이퍼 및 상기 제 1 폴리머를 다이싱(Dicing)하여 낱개의 능동 소자 칩으로 분리하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 능동 소자 칩 내장형 기판의 제조 방법
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