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1
지지대에 고분자 층을 형성하는 단계;
상기 고분자 층 상부에 스트레인 게이지 및 신호배선을 형성하기 위한 다층의 금속막을 증착하는 단계;
상기 금속층들에 신호배선을 형성하기 위하여 상부 금속층 면에 감광막을 형성 및 패터닝 하는 단계;
상기 단계에서 형성된 신호배선 중에서 스트레인 게이지 부분을 형성하기 위하여 감광막 형성 및 패터닝하는 단계;
상기 신호배선의 접촉저항을 줄이기 위하여 상기 신호배선 부분만을 감광막으로 패터닝하여 금속으로 도금하는 단계;
상기 스트레인 게이지 부분과 대응하는 위치에 캐비티를 형성하고 있는 캐비티 층을 상기 고분자 층과 결합하는 단계;
상기 스트레인 게이지 및 신호배선 부분에 보호층을 형성하는 단계를 포함하는 촉각센서 어레이 제조방법
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2
청구항 1에 있어서,
상기 지지대는 탄성부재로 이루어지고 이 탄성부재 아래측에 직접 캐비티 층이 형성되는 촉각센서 어레이 제조방법
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| 3 |
3
청구항 1에 있어서,
상기 지지대는 감광막으로 신호배선을 도금하는 단계 이후에 제거되고, 이 부분에 탄성부재가 접착되는 촉각센서 어레이 제조방법
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4
청구항 1에 있어서,
상기 고분자 층은 polyimide, PMMA, PET film, silicone, PC, polyester, LCP 중에서 어느 하나로 이루어지는 촉각센서 어레이 제조방법
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5
청구항 1에 있어서,
상기 다층의 금속막들 중에서 스트레인 게이지를 형성하기 위한 금속막은 NiCr, Cr, CNT, PEDOT, polyaniline, ITO, Si nanowire 중에서 어느 하나로 이루어지는 촉각센서 어레이 제조방법
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6
청구항 1에 있어서,
상기 신호배선에는 접촉저항을 줄이기 위한 수단으로 신호배선 위에 구리, 금, 니켈 중 어느 하나가 도금되는 촉각센서 어레이 제조방법
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7
청구항 1에 있어서,
상기 캐비티 층은 폴리머 필름 위에 캐비티 부분이 형성된 것을 특징으로 하는 촉각센서 어레이 제조방법
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8
청구항 1에 있어서,
상기 캐비티 층은 polyimide, PMMA, silicone, PET film, PC, polyester, LCP 중에서 어느 하나로 이루어지는 촉각센서 어레이 제조방법
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9
청구항 1에 있어서,
상기 스트레인 게이지 및 신호배선은 polyimide, PMMA, PET film, silicone, polyester, LCP, PSR 중에서 어느 하나로 이루어지는 촉각센서 어레이 제조방법
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10
청구항 2,3,4 항중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 탄성부재는 금속 시트, PC, PET, PMMA, PE, PEN, PU 중에서 어느 하나로 이루어지는 촉각센서 어레이 제조방법
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11
청구항 1에 있어서, 촉각센서 어레이 제조방법은 외부로부터 인가되는 힘을 효과적으로 전달하기 위한 액츄에이터를 제조하는 공정을 더 포함하는 촉각센서 어레이 제조방법
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12
청구항 11에 있어서,
상기 액츄에이터는 UV epoxy, Si rubber, PMMA, polyimde 중에서 어느 하나로 이루어지는 촉각센서 어레이 제조방법
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13
유연성을 갖는 고분자 원단에 금속배선을 형성하기 위한 금속막을 형성하는 단계;
상기 금속막 전면에 감광막을 형성하는 단계;
감광막에 자외선을 조사하여 패터닝하는 단계;
패터닝된 부분의 잔여 감광막을 제거하는 단계;
패터닝 작업 및 괌광막 제거단계를 반복수행하여 배선을 형성하는 단계;
상기 형성된 배선에 보호층을 형성하는 단계; 및 전해도금으로 커넥터를 형성하는 단계;
하부에 블록을 형성하는 단계를 포함하는 촉각센서 어레이 제조방법
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14
청구항 14에 있어서,
상기 고분자 원단 및 금속막 형성 공정은 릴투릴 공정으로 행하여지는 촉각센서 어레이 제조방법
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15
청구항 13에 있어서,
상기 고분자 원단은 PI, PU, PET, PC, PEN, PE 중에서 어느 하나로 이루어지는 촉각센서 어레이 제조방법
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16
청구항 13에 있어서,
상기 고분자 층과 하부블록 사이에 탄성층이 제공되는 촉각센서 어레이 제조방법
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17
청구항 16에 있어서,
상기 탄성층은 SUS, PC, PET, PMMA, PE, PEN, PU 중에서 어느 하나로 이루어지는 촉각센서 어레이 제조방법
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18
청구항 1 내지 청구항 16 중에서 어느 하나의 항에 의한 제조방법으로 제조되는 촉각센서 어레이
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