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습도 센서 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015145645
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 습도 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 알루미늄 양극산화(anodizing)를 이용하여 기판을 형성하고 대기압 플라즈마를 이용하여 표면 개질을 수행함으로써, 습도 감지 폴리머와 기판과의 접착력을 높일 수 있는 습도 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 습도 센서 제조 방법은, 열산화막이 형성된 기판의 표면에 버퍼층과 알루미늄층을 형성하는 제1단계; 상기 알루미늄층의 표면에 양극산화를 수행하여 전극 부분과 나노 스케일의 산화알루미늄 부분을 형성하는 제2단계; 및 상기 전극 부분 또는 상기 산화알루미늄 부분의 표면에 습도 감지 폴리머를 형성하는 제3단계를 포함함에 기술적 특징이 있다. 따라서, 본 발명의 습도 센서 및 그의 제조 방법은 알루미늄 양극산화를 이용하여 기판을 형성하고 대기압 플라즈마를 이용하여 표면 개질을 수행함으로써 습도 감지 폴리머와 기판 또는 습도 감지 폴리머와 전극 사이의 접착력을 높일 수 있고 습도 센서의 안정적인 구동과 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 기판과 전극 사이의 단차를 발생하지 않음으로써 습도 감지 폴리머의 증착시 두께의 편차를 줄일 수 있는 현저하고도 유리한 효과가 있다. 습도 센서, 알루미늄 양극산화, 대기압 플라즈마
Int. CL G01N 27/12 (2011.01) B82Y 15/00 (2011.01)
CPC G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01) G01N 27/121(2013.01)
출원번호/일자 1020070068366 (2007.07.06)
출원인 전자부품연구원, 경기도
등록번호/일자 10-0913319-0000 (2009.08.14)
공개번호/일자 10-2009-0004278 (2009.01.12) 문서열기
공고번호/일자 (20090821) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.07.06)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 경기도 대한민국 경기도 수원시 팔달구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍성민 대한민국 경기 용인시 수지구
2 황학인 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 경기도 대한민국 경기도 수원시 팔달구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2007-0496158-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.05.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0035723-33
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.06 수리 (Accepted) 4-1-2008-5176113-43
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0076383-35
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.04.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0235948-15
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0235955-35
8 등록결정서
Decision to grant
2009.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0201209-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
열산화막이 형성된 기판의 표면에 버퍼층과 알루미늄층을 형성하는 제1단계; 상기 알루미늄층의 표면에 양극산화를 수행하여 전극 부분과 나노 스케일의 산화알루미늄 부분을 형성하는 제2단계; 및 상기 전극 부분 또는 상기 산화알루미늄 부분의 표면에 습도 감지 폴리머를 형성하는 제3단계를 포함하되, 상기 산화알루미늄의 직경은 10nm 내지 100nm의 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 습도 센서 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제2단계 이후, 상기 알루미늄층 또는 산화알루미늄 부분의 표면 개질을 위해 대기압 또는 진공 상태에서 플라즈마 처리를 수행하는 단계 를 더 포함하는 습도 센서 제조 방법
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제2단계는, 상기 전극 부분과 상기 열산화막 사이에 단차가 없도록 상기 산화알루미늄 부분을 형성하는 습도 센서 제조 방법
5 5
실리콘 웨이퍼의 표면에 형성된 열산화막; 상기 열산화막의 표면에 증착된 알루미늄층에 양극산화를 이용하여 형성된 전극과 나노 스케일의 산화알루미늄; 및 상기 전극 또는 산화알루미늄의 표면에 형성된 습도 감지 폴리머를 포함하되, 상기 산화알루미늄의 직경은, 10nm 내지 100nm의 크기로 형성된 것을 특징으로 하는 습도 센서
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 산화알루미늄 또는 알루미늄층은, 대기압 또는 진공 상태의 플라즈마 처리를 통해 표면 개질된 것인 습도 센서
7 7
삭제
8 8
제 5 항에 있어서, 상기 열산화막과 상기 알루미늄층 사이에 산화된 버퍼층 을 더 포함하는 습도센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.