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제1 격자 상수를 가지며 적어도 하나 이상으로 이루어진 제1층 위에 제2 격자 상수를 가지는 제2층을 형성하고, 상기 제2층 위에 제3 격자 상수를 가지는 제3층을 형성하여 헤테로정션 구조물을 형성하는 단계; 상기 제3층의 일부를 상기 제1층의 상면이 노출되도록 식각하여 제1절연홈을 형성하고, 상기 제1 절연홈에 절연체를 체우며, 상기 제1절연홈을 기준으로 상기 헤테로정션 구조물을 전극부와 발광부로 나누어 절연하는 단계; 상기 제3층 및 제1절연홈 위에 절연층을 형성하는 단계; 상기 제1절연홈을 기준으로 발광부에 해당하는 제3층의 위에 형성된 절연층을 일정 간격을 두고 제거하는 단계; 상기 제1층의 상면이 노출되도록 상기 제3층 및 제2층을 식각하여 다수의 제2 절연홈을 형성하여 상기 발광부를 다수의 단위 발광부로 나누는 단계; 상기 단위 발광부 위에 형성된 절연층을 각각 제거하는 단계; 및 상기 전극부에 해당하는 절연층 위에 상기 단위 발광부와 각각 연결되는 다수의 전극을 형성하는 단계를 포함하는 고밀도 LED 어레이 제조 방법
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