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저전압형 편광조절기 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015145718
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 저전압형 편광조절기 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 기판과; 상기 기판 상부면의 일측에서 타측까지 기판 내부로 Ti가 확산되어 형성되며, 상기 기판 상부면의 일측에서 타측까지 일부가 노출된 광도파로와; 상기 기판 상부면에 일부가 노출된 광도파로를 감싸며, 상기 광도파로를 따라서 상기 기판 상부면의 일부에 형성된 버퍼층과; 상기 버퍼층 상부에 형성된 제 2 편광 제어 전극과, 상기 제 2 편광 제어 전극 양측으로 이격되어 기판 상부면 각각에 형성된 제 1 및 3 편광 제어 전극으로 각각 이루어지며, 상호 이격되어 있는 제 1 내지 3 편광 제어 전극부로 구성된다. 따라서, 본 발명은 광도파로의 상부를 제외하고는 불필요하게 도포된 버퍼층을 제거함으로써, 광의 도파손실을 최소화함과 동시에 광도파로내에 존재하는 전계의 세기를 향상시켜, 낮은 전압의 구동을 가능하게 하는 효과가 있다. 광도파로, 편광, 전극, 버퍼층, 전압
Int. CL G02B 6/126 (2006.01)
CPC G02B 6/126(2013.01) G02B 6/126(2013.01) G02B 6/126(2013.01) G02B 6/126(2013.01)
출원번호/일자 1020040039206 (2004.05.31)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2005-0114016 (2005.12.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.05.31)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김우경 대한민국 경기도군포시
2 양우석 대한민국 경기도성남시분당구
3 이한영 대한민국 경기도용

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조담 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2004-0234234-84
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.01.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2006-0007079-67
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0333663-17
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2006.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0479848-46
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판과; 상기 기판 상부면의 일측에서 타측까지 기판 내부로 Ti가 확산되어 형성되며, 상기 기판 상부면의 일측에서 타측까지 일부가 노출된 광도파로와; 상기 기판 상부면에 일부가 노출된 광도파로를 감싸며, 상기 광도파로를 따라서 상기 기판 상부면의 일부에 형성된 버퍼층과; 상기 버퍼층 상부에 형성된 제 2 편광 제어 전극과, 상기 제 2 편광 제어 전극 양측으로 이격되어 기판 상부면 각각에 형성된 제 1 및 3 편광 제어 전극으로 각각 이루어지며, 상호 이격되어 있는 제 1 내지 3 편광 제어 전극부로 구성된 저전압형 편광조절기
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 기판은, LiNbO3로 이루어진 것을 특징으로 하는 저전압형 편광조절기
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 버퍼층은, SiO2 박막인 것을 특징으로 하는 저전압형 편광조절기
4 4
기판 상부면의 일측에서 타측까지 이어지는 기판 상부의 중심 영역에 Ti 박막을 증착하는 제 1 단계와; 상기 Ti 박막에서 Ti를 기판면에서 기판내부로 확산시켜, Ti 박막 하부의 기판에 광도파로를 형성하는 제 2 단계와; 상기 Ti 박막을 제거하고, 상기 광도파로를 감싸며 상기 광도파로를 따라서 상기 기판 상부면에 버퍼층을 형성하는 제 3 단계와; 상기 버퍼층 상부에 형성된 제 2 편광 제어 전극과, 상기 제 2 편광 제어 전극 양측으로 이격되어 기판 상부면 각각에 형성된 제 1 및 3 편광 제어 전극으로 각각 이루어지며, 상호 이격되어 있는 제 1 내지 3 편광 제어 전극부를 형성하는 제 4 단계로 구성된 저전압형 편광조절기의 제조 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 버퍼층의 두께는, 3000 ~ 5000Å인 것을 특징으로 하는 저전압형 편광조절기의 제조 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 버퍼층의 두께는, 3000 ~ 5000Å인 것을 특징으로 하는 저전압형 편광조절기의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.