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광섬유정렬소자의V-그루브제조방법

  • 기술번호 : KST2015145745
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 정밀도가 높고 제작이 용이한 광섬유 정렬소자의 V-그루브 제조방법을 개시한다.본 발명은 기판 위에 PMMA 또는 감광막을 일정 두께로 형성시키고, X-선 마스크를 이용해 두 번의 경사노광공정과 한 번의 수직노광공정을 수행하는 단계와, 현상액으로 노광된 PMMA 또는 감광막을 제거하여 현상공정 단계와, 현상되어 드러난 기판 위에 금속층을 형성하는 전기도금공정 단계와, 도금공정으로 생성된 금속층을 기판과 분리하는 분리공정 단계를 포함한다.본 발명에 따르면 1심 및 다심 V-그루브의 고정밀도를 실현할 수 있고 반도체 공정처럼 마스크를 이용하므로 반복 제작이 가능하다. 또한 금형을 제작하여 사출공정에 의해 플라스틱으로 이루어진 V- 그루브를 대량으로 생산할 수 있다.
Int. CL G02B 6/36 (2006.01) G02B 6/38 (2006.01)
CPC G02B 6/3692(2013.01) G02B 6/3692(2013.01) G02B 6/3692(2013.01) G02B 6/3692(2013.01)
출원번호/일자 1019980054458 (1998.12.11)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0304204-0000 (2001.07.19)
공개번호/일자 10-2000-0039200 (2000.07.05) 문서열기
공고번호/일자 (20010929) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.12.11)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신상모 대한민국 경기도 용인군
2 박순섭 대한민국 경기도 평택시
3 홍성제 대한민국 경기도 과천시
4 정석원 대한민국 충청남도 공주시
5 석호준 대한민국 경기도 평택시 송탄지역

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 평택시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1998.12.11 수리 (Accepted) 1-1-1998-0454831-15
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.12.11 수리 (Accepted) 1-1-1998-0422498-19
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.12.11 수리 (Accepted) 1-1-1998-0422497-63
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.14 수리 (Accepted) 4-1-1999-0005793-30
5 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification		 1999.02.23 수리 (Accepted) 1-1-1999-5084267-13
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2001.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0038279-17
7 의견서
Written Opinion		 2001.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2001-5114568-61
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2001.04.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-5114569-17
9 등록사정서
Decision to grant		 2001.06.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0150999-77
10 FD제출서
FD Submission		 2001.07.19 수리 (Accepted) 2-1-2001-5120876-94
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

광섬유 정렬소자의 V-그루브 제조방법에 있어서,

기판 위에 PMMA 또는 감광막을 미리 결정된 두께로 형성시켜 노광시편을 준비하는 단계와,

X-선 마스크를 이용해 서로 대칭되는 방향으로 두 번의 경사노광과 한 번 수직노광을 통해 상기 노광시편에 V-그루브 형상을 노광하는 단계와,

상기 V-그루브 형상이 노광된 노광시편을 현상하는 단계와,

현상된 상기 노광시편 위에 전기도금공정으로 금속층을 형성하는 단계와,

상기 금속층으로부터 기판을 분리하여 V-그루브가 형성된 광섬유 정렬소자를 획득하는 단계를 포함하는 광섬유 정렬소자의 V-그루브 제조방법

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 V-그루브 중간에 기능성 박막을 삽입할 수 있는 슬릿이 형성될 수 있도록 상기 노광하는 단계에서 슬릿 패턴이 부가된 X-마스크를 이용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 정렬소자의 V-그루브 제조방법

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 V-그루브의 양 끝부분을 점점 넓어지도록 테이퍼지게 하여 광섬유의 삽입을 용이하도록 하기 위하여 상기 노광하는 단계에서 테이퍼진 패턴이 부가된 X-선 마스크를 이용하는 것을 특징으로 하는 광섬유 정렬소자의 V-그루브 제조방법

4 4

광섬유 정렬소자의 V-그루브 제조방법에 있어서,

기판 위에 PMMA 또는 감광막을 미리 결정된 두께로 형성시켜 노광시편을 준비하는 단계와,

X-선 마스크를 이용해 서로 대칭방향으로 두 번의 경사노광을 통해 상기 노광시편에 V-그루브 형상을 노광하는 단계와,

상기 V-그루브 형상이 노광된 노광시편을 현상하여 PMMA 또는 감광막으로 이루어진 다심 V-그루브를 형성하는 광섬유 정렬소자의 V-그루브 제조방법

5 5

제 4항에 있어서, 상기 다심 V-그루브가 형성된 PMMA 위에 도금 기저층을 이용하여 금속층을 형성하는 단계와,

상기 금속층을 기판 및 상기 PMMA로부터 분리하는 단계를 포함하는 광섬유 정렬소자의 V-그루브 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.