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복수개의 세라믹 기판을 적층하여 소자 구조물을 형성하는 단계와; 상기 소자 구조물의 상, 하부에 전도성 페이스트막을 형성하는 단계와; 상기 전도성 페이스트막이 형성된 소자 구조물을 소결(Sintering)하는 단계와; 상기 소자 구조물의 외부 전극 단자를 형성하기 위하여, 상기 소자 구조물의 상, 하부에 형성된 전도성 페이스트막을 사진 식각 공정을 수행하여 패터닝하는 단계를 포함하여 구성된 적층 세라믹 소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 전도성 페이스트막은, 상기 소자 구조물의 소결 온도보다는 낮은 온도에서 수축을 완료할 수 있는 금속 분말이 분산된 페이스트막으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 소자의 제조 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 전도성 페이스트막은, 금속 분말이 분산된 페이스트 프린팅 또는, 금속 분말이 분산된 페이스트 필름을 라미네이션(Lamination)하여 형성하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 소자의 제조 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 전도성 페이스트막이 수축을 완료할 수 있는 온도는, 400 ~ 700℃인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 소자의 제조 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 금속 분말은, Ag분말 또는 Cu분말인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 소자의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 Cu분말이 분산된 페이스트막인 경우, 상기 소결하는 단계에서 소결은 H2와 같은 환원가스 분위기에서 수행하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 소자의 제조 방법
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제 2 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속 분말의 입도는 0
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제 2 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속 분말의 입도는 0
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