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멤브레인;상기 멤브레인의 적어도 일 측에 형성되는 하나 이상의 전극 패드;상기 멤브레인의 상에 위치하고, 그 내부에 형성되는 하나 이상의 챔버를 갖는 몰드;상기 몰드의 상기 하나 이상의 챔버 내부 및 상기 멤브레인 상에 각각 형성되는 하나 이상의 측정용 요소들을 포함하며, 상기 하나 이상의 측정용 요소 및 상기 하나 이상의 패드가 전기적으로 연결되고, 상기 멤브레인 하부의 노출된 표면에 형성되어 상기 멤브레인을 지지하기 위한 보강재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 대사 정보 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 하나 이상의 측정용 요소는온도 센서, 히터, 및 ISFET 센싱 전극 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 대사 정보 측정 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 보강재의 재료는 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 대사 정보 측정 장치
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a) 실리콘 기판의 상부 및 하부 표면들 상에 형성되는 상부 실리콘 질화막 및 하부 실리콘 질화막을 각각 형성하는 단계;b) 상기 상부 실리콘 질화막 상에 하나 이상의 측정용 요소를 형성하는 단계;c) 상기 하나 이상의 측정용 요소가 형성된 상기 상부 실리콘 질화막 상에 제 1 절연 층을 형성하는 단계;d) 상기 하나 이상의 측정용 요소가 형성된 상기 기판 상부의 위치에 대응하는 위치에 상기 제 1 절연 층 상부로부터 제 1 접촉 홀 및 제 2 접촉 홀을 각각 형성하는 단계;e) 상기 제 1 접촉 홀 및 상기 제 2 접촉 홀에 도체를 채우고, 제 1 절연 층 상에 하나 이상의 배선을 형성하는 단계;f) 상기 하나 이상의 배선이 형성된 상기 제 1 절연 층 상에 제 2 절연 층을 형성하는 단계;g) 상기 제 2 절연 층의 적어도 일 측의 일부를 제거하여 하나 이상의 전극 패드를 형성하는 단계;h) 상기 하나 이상의 측정용 요소가 형성된 위치에 대응하는 부분의 상기 하부 실리콘 질화막과 상기 기판을 제거하여 멤브레인을 형성하는 단계;i) 그 중심부에 하나 이상의 관통 홀을 갖는 몰드를 준비하는 단계;j) 상기 몰드를 상기 멤브레인 상부에 부착하는 단계; 및k) 상기 멤브레인을 지지하기 위해, 상기 멤브레인 하부의 노출된 표면에 보강재를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 대사 정보 측정 장치를 제조하는 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 하나 이상의 측정용 요소는온도 센서, 히터, 및 ISFET 센싱 전극 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 대사 정보 측정 장치를 제조하는 방법
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제 5 항에 있어서,상기 보강재의 재료는 폴리머를 포함하는 것을 특징으로 하는 세포 대사 정보 측정 장치를 제조하는 방법
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