| 요약 |
본 발명은 저온 소결용 압전 조성물과 그 제조 방법 및 이를 이용한 적층형 압전 소자에 관한 것으로서, 본 발명의 압전 조성물은 (1-x-y)Pb(Zr1-zTiz)O3-xPb(Ni1/3Nb2/3)O3-yPb(Zn1/3Nb2/3)O3 [(1-x-y)PZ1-zTz-xPNN-yPZN] + w mol% CuO의 화학식으로 표시되고, 0.3≤x+y≤0.4, 0.50≤z≤0.60, 0003c#w≤10이다. 이와 같은 압전 조성물의 제조 방법은, (a) 순도 99%이상의 PbO, ZrO2, TiO2, NiO, ZnO, Nb2O5 파우더를 조성에 맞게 평량하고 상합성하여 (1-x-y)PZ1-zTz-xPNN-yPZN (0.25≤x+y≤0.55, 0.50≤z≤0.65) 분말을 제조하는 단계와, (b) 상기 (a) 단계에서 상합성한 (1-x-y)PZ1-zTz-xPNN-yPZN 분말을 w mol%(0003c#w≤10)의 CuO를 포함하는 알콜 용매로 습식 혼합한 후 건조하는 단계와, (c) 상기 (b) 단계에서 건조된 분말을 실린더형 성형체로 가압 성형 후 소결하는 단계를 포함한다.
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