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표면 조도가 수 나노미터인 플렉시블 기재; 및 상기 플렉시블 기재 상부면에 Bi-Nb계 세라믹 조성물로 형성되는 유전체층을 포함하는 플렉시블 유전체 박막
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청구항 1에 있어서, 상기 플렉시블 기재는 폴리에테르술폰, 폴리아크릴레이트, 폴리에테르이미드, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리페닐렌 설파이드, 폴리아릴레이트, 폴리이미드, 폴리카보네이트, 셀룰로오스 트리 아세테이트, 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 플렉시블 유전체 박막
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청구항 1에 있어서, 상기 Bi-Nb계 세라믹 조성물은 Bi5Nb3O15인 플렉시블 유전체 박막
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플렉시블 기재에 압력 및 열을 가하여 상기 플렉시블 기재의 표면 조도를 수 나노미터로 낮추는 제1 단계; 및 표면 조도가 낮추어진 상기 플렉시블 기재 상부면에 Bi-Nb계 세라믹 조성물을 상온에서 증착하여 유전체층을 형성하는 제2 단계를 포함하는 플렉시블 유전체 박막 제조방법
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청구항 4에 있어서, 상기 플렉시블 기재-유전체층 적층체를 열처리하여 유전율을 증가시키는 제3 단계를 더 포함하는 플렉시블 유전체 박막 제조방법
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청구항 5에 있어서, 상기 열처리는 280℃ 내지 320℃에서 수행되는 플렉시블 유전체 박막 제조방법
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청구항 4 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 따른 제조방법에 의해 제조되는 플렉시블 유전체 박막
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청구항 7의 플렉시블 유전체 박막을 포함하는 플렉시블 박막형 캐패시터
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